东莞市和川机械设备科技有限公司是中国较早从事冷光源***机研发制造的企业之一，是专注于冷光源精密***机系统的现代化企业。

1、基片前处理

为确保光刻胶能和晶圆表面很好粘贴，形成平滑且结合得很好的膜，必须进行表面准备，保持表面干燥且干净。

2、涂光刻胶

涂胶的目标是在晶圆表面建立薄的、均匀的，手动***机供应商，并且没有缺陷的光刻胶膜。

3、前烘(软烘焙)

前烘的目的是去除胶层内的溶剂，提高光刻胶与衬底的粘附力及胶膜的机械擦伤能力。

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