太阳白油专用***机哪家好-东莞和川机械设备
作者:和川机械设备2020/5/3 9:05:19





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1、基片前处理

为确保光刻胶能和晶圆表面很好粘贴,太阳白油专用***机报价,形成平滑且结合得很好的膜,必须进行表面准备,保持表面干燥且干净。

2、涂光刻胶

涂胶的目标是在晶圆表面建立薄的、均匀的,并且没有缺陷的光刻胶膜。

3、前烘(软烘焙)

前烘的目的是去除胶层内的溶剂,提高光刻胶与衬底的粘附力及胶膜的机械擦伤能力。


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