接近式***:掩膜板与光刻胶基底层保留一个微小的缝隙,Gap大约为0~200μm。可以有效避免与光刻胶直接接触而引起的掩膜板损伤,使掩膜和光刻胶基底能耐久使用;掩模寿命长(可提高10 倍以上),LED手动***机生产厂家,图形缺陷少。接近式在现代光刻工艺中应用较为广泛。
投影式***:在掩膜板与光刻胶之间使用光学系统聚集光实现***。一般掩膜板的尺寸会以需要转移图形的4倍制作。优点:提高了分辨率:掩膜板的制作更加容易:掩膜板上的缺陷影响减小。
1.LED***机采用UV-LED冷光源发光紫外光,整台机器用电量少于5KW/H,外接交流电220V即可,***机,节约电能90%。
2.光源使用寿命20000小时左右,整机基本免维护,无大的维修成本。
除了省电之外UV-LED***机还有很多优点:
1.采用的是半导体发光元器件不用会有gong、镁、钾、钨等***污染
2.光谱中仅含纯净UV光不含红外线及可见光,不存在菲林涨缩问题,数万小时寿命
3.单边UV光输出不必使用反射罩,平衡排列无倾斜角误差
4.使用多级透镜调整技术保证平行半角≤2度,扫瞄式输出UV光能实现任意尺寸面光源
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