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东莞市和川机械设备科技有限公司是中国较早从事冷光源***机研发制造的企业之一,是专注于冷光源精密***机系统的现代化企业。
显微镜LED***装置概述:显微镜LED***单元UTA系列是不需要掩模的用于光刻的图案投影***装置。
使用金相显微镜盒LED光源DLP投影仪,将具有机微米分辨率的任意图案投影到涂有抗蚀剂的基板上进行***。
图案可以在PC上自由创建。
因为可以在普通的室内环境中在各种大小盒形状的单晶薄片上形成电极,所以它比电子束光刻便宜且简单,不需要制造昂贵的电极图案掩膜。
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东莞市和川机械设备科技有限公司是中国较早从事冷光源***机研发制造的企业之一,是专注于冷光源精密***机系统的现代化企业。采用大功率UV-LED芯片,发出的光波长有365nm、375nm、385nm、395nm、405nm等纯紫外光,不含有红外光及其它杂波长,被照射的产品表面温升在5℃以下;而传统gong灯固化设备,则会使产品表面温升达到40-80℃,很容易使产品的***发生位移造成产品不良,因此LED固化方式适合热敏基材、透镜粘接及电子产品、光纤等高精度的粘接工艺需求。