显微镜LED***单元(无掩模***系统)应用:薄膜FET和霍尔效应测量样品的电极形成;从石墨烯/钼原石中剥离电极形成并评估其特性;研发应用的图案形成。
显微镜LED***单元(无掩模***系统)应用:由于显微镜和DLP的结合,可以用很低的成本来构建系统。易于使用的软件可以轻松的创建***图案;通过物镜放大倍率图案,可以进行大范围的批量***;可以连接到您自己的显微镜上(选项);分辨率在微米级。
1、调整底漆的硬度,提高底漆烘烤温度延长烘烤时间。含量要控制在合理的范围,使用和UV配套的底漆系统。
2、控制好UV涂膜的体积收缩,调整溶剂的溶解力和挥发速率,调整膜厚、引发剂用量和灯功率,重新选择原材料和调整配方。
显微镜LED***装置概述:显微镜LED***单元UTA系列是不需要掩模的用于光刻的图案投影***装置。
使用金相显微镜盒LED光源DLP投影仪,将具有机微米分辨率的任意图案投影到涂有抗蚀剂的基板上进行***。
图案可以在PC上自由创建。
因为可以在普通的室内环境中在各种大小盒形状的单晶薄片上形成电极,所以它比电子束光刻便宜且简单,不需要制造昂贵的电极图案掩膜。
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