紫外线***机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线,将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的设备.
在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行***,受电子束辐照后的光刻胶,其物理化学性质发生变化,在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域,从而在抗蚀剂上形成精细图形.
紫外线***机即电子束***机是集电子光学,电气,机械,真空,计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备.
***的触摸式人机界面控制方式,使用更为方便,同时提供了较完善的生产管理系统.
配置有:UV能量计算器之***量控制系统;自我诊断功能及故障提示之监控系统;干式真空泵浦的真空装置(正常真空压力650mm/hg以上)等系统.
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