LED***机-和川机械设备-LED***机厂家
作者:和川机械设备2019/12/21 9:00:53





在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行***,受电子束辐照后的光刻胶,LED***机生产厂家,其物理化学性质发生变化,在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域,从而在抗蚀剂上形成精细图形.

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LED***机性能指标:

光刻机的主要性能指标有:支持基片的尺寸范围,分辨率,对准精度,***方式,光源波长,光强均匀性,生产效率等.

分辨率是对***工艺加工可以达到的***细线条精度的一种描述方式.***的分辨率受受光源衍射的限制,所以与光源,光刻系统,光刻胶和工艺等各方面的限制.

对准精度是在多层***时层间图案的***精度.***方式分为接触接近式,投影式和直写式.

***光源波长分为紫外,深紫外和极紫外区域,光源有gong灯,准分子激光器等.




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