在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行***,受电子束辐照后的光刻胶,LED***机生产厂家,其物理化学性质发生变化,在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域,从而在抗蚀剂上形成精细图形.
操作简便,晒版光源采用快启动型高功率紫外线灯管,光强稳定均匀,LED***机厂家,紫外线光谱分布与印版的特性相吻合,辅以性能稳定的真空压缩机系统,真空吸附,复原性能特佳,有效保证了晒版速度快,网版清晰.
LED***机性能指标:
光刻机的主要性能指标有:支持基片的尺寸范围,分辨率,对准精度,***方式,光源波长,光强均匀性,生产效率等.
分辨率是对***工艺加工可以达到的***细线条精度的一种描述方式.***的分辨率受受光源衍射的限制,所以与光源,光刻系统,光刻胶和工艺等各方面的限制.
对准精度是在多层***时层间图案的***精度.***方式分为接触接近式,投影式和直写式.
***光源波长分为紫外,深紫外和极紫外区域,光源有gong灯,准分子激光器等.
目前,国外LED***机的应用市场比中国大陆较为广阔.国外进口***机设备是一比不菲的支出,在考虑设备支出之前还需要考虑后期维修,***,LED***机供应商,更新等N种费用.这对于国内中小型企业来讲,这也会是压倒骆驼的***后一根稻草.
在工业化进程不断完善的21世纪,紫外LED以其节能,LED***机,环保,寿命长,效率高等优势远远超过传统光源的各项性能.因此UV-LED***机的应用市场必然会取得快速,长足的发展.
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