同样地﹐如果蚀刻液出现化学不平衡﹐结渣的情况 就会愈加严重。 蚀刻液突然出现大量结渣时﹐通常是一个信号﹐表示溶液的平衡出现了问 题, 这时应使用较强的盐酸作适当的清洁或对溶液进行补加。 另外, 残膜也会产生结渣物。对于优良侧面效果的制造方式﹐外界均有不同的理论、设计方式和设备结构的研究,而这些理论却往往是人相径庭的。 量的残膜溶于蚀刻液中﹐形成铜盐沈淀。这表示前 道去膜工序做得不彻底, 去膜不良往往是边缘膜与过电镀共同造成的结果。

负载（Loading）-- 蚀刻速率依赖于可蚀刻表面数量，可在宏观或微观尺寸下。 纵横比决定蚀刻（Aspect Ratio Dependent Etching/ARDE）--蚀刻速率决定于纵横比。 终点（Endpoint）-- 在一个蚀刻过程中，平均膜厚被蚀刻干净时的时间点。 光刻胶（Photo-resist）-- 作为掩膜用来图形转移的光敏材料。发动酸泵，让三氯化铁溶液在机器内循环，调查温度表高不能超过50度。 分辨率（Resolution）-- 用于测试光学系统把相邻的目标形成分离图像的能力。 焦深 (Depth of focus) – 在焦平面上目标能形成影像的纵向距。 关键尺寸（Critical dimensi-CD）-- 一个特征图形的尺寸，包括线宽、间隙、或者 关联尺寸。

六、酸/碱体积比的检验方法： 开机运行到设定温度后(约 15~20 分钟),测试酸液及碱液的体积比,在规定范围内方可进行生产。 1．酸液 1）新配酸液和使用过的酸液的测定 a.将酸液稀释 用吸量管吸取 10ml 酸液，放入 100ml 容量瓶中，然后加入纯水至刻度处，盖好玻璃塞，摇匀备用；3、试刻这台精细摇晃蚀刻机传送带可以无级调速，冲刷工夫的长短可以在这里进行调整。 b.测定酸液当量体积 用吸量管吸取 10ml“a”之稀释液，放入锥瓶中，加入纯水 30ml 摇匀，再加入酚酞指示剂 1~3 滴并记下锥瓶 内溶液的体积为 V1，再取（NaOH）标准溶液倒入滴管内一般以 50ml 为基准，然后缓慢滴入锥瓶中， 滴至粉红色后摇匀一分钟后不褪色为终点，计下此时锥瓶内的数据为 V2，根据以下公式计算出溶液的体积