蚀刻液的 PH 值﹕
碱性蚀刻液的 PH 值较高时﹐侧蚀会增大。 为了减少侧蚀﹐PH 值一般应控制在 8.5 以下。 蚀刻液的密度﹕ 碱性蚀刻液的密度太低会加重侧蚀﹐选用高铜浓度的蚀刻液对减少侧蚀非常有利。 铜箔厚度﹕ 要达到小侧蚀的细导线的蚀刻﹐采用(超)薄铜箔。 而且线宽越细﹐铜箔厚度应越 薄。 因为, 铜箔越薄在蚀刻液中的时间会越短﹐侧蚀量就越小。 2. 提高基板与基板之间蚀刻速率的一致性 在连续的板蚀刻中﹐蚀刻速率的一致性越高﹐越能获得蚀刻均匀的板。 要达到这一 个要求﹐必须保证蚀刻液在蚀刻的整个过程始终保持在很好的蚀刻状态。
一般的比重应控制在 18~240Be。溶液 PH 值的影响
蚀刻液的 PH 值应保持在 8.0~8.8 之间。 若 PH 值下降到 8.0 以下时, 将会对金属抗 蚀层不利。 另一方面﹐蚀刻液中的铜不能被完全络合成铜氨络离子﹐使溶液在槽底形成泥 状沈淀, 而这些沈淀物能在加热器上结成硬皮﹐可能会损坏加热器﹐还会使泵和喷嘴受到 堵塞﹐给蚀刻造成困难。 如果溶液 PH 值过高﹐蚀刻液中的氨过饱和﹐游离氨便会释放到大 气之中﹐导致环境污染。 再说﹐溶液的 PH 值增大也会增大侧蚀的程度﹐继而影响蚀刻的精 度。
版权所有©2025 产品网