温度的影响

蚀刻速率与温度有着很大的关系， 蚀刻速率会随着温度升高而加快。 蚀刻液温度低 于 40℃﹐蚀刻速率会很慢﹐而蚀刻速率过慢则会增大侧蚀量﹐影响蚀刻质量。 当温度高于 60℃﹐蚀刻速率会明显地增大，PMMA镜片定制， 但 NH3 的挥发量也大大地增加﹐导致环境污染并使蚀刻液中 化学组份比例失调。 故一般应控制在 45℃~55℃为宜。

蚀刻液的调整

自动控制调整 随着蚀刻的进行， 蚀刻液中铜的含量不断增加﹐比重亦逐渐升高。 当蚀刻液中铜浓 度达到一定的高度时就要及时调整。 在自动控制补加装置中﹐是利用比重控制器来控制蚀 刻液的比重。 当比重升高时﹐会自动排放出溶液﹐并添加新的补加液﹐使蚀刻液的比重调 整到允许的范围。 补加液要事先配制好并放入补加桶内﹐使补加桶的液面保持在一定的高 度。

条宽损失 (Etch bias) 过蚀刻 (Over etch) – 在平均膜厚完全蚀刻掉以后的额外蚀刻。补偿蚀刻速率和膜厚的不均匀 性。 残留物 (Residues) – 在蚀刻和平版印刷过程中无意留下的物质。 微掩膜（Micro-masking）-- 由于微粒，PMMA镜片价格，薄膜掺杂以及残留物产生的无意留下的掩膜。 糊胶（Resist reticulation）-- 温度超过 150 摄氏度时光刻胶产生的燃烧和折皱。 纵横比（Aspect ratio）-- 器件结构横截面深度和宽度的比率。

金属蚀刻工艺流程

1、金属的种类不同，其蚀刻工艺的流程也不同，但大致的工序如下：焊边：需要电烙铁、焊剂、焊料等。立体标牌需要剪板、折边、焊边，尤其表面弧形的标牌。本项目单片的标牌不需要折边、焊边。

2、剥皮：剥去不锈钢、钛金表面起保护作用的塑料薄膜。

3、图文设计：需要电脑和相应的设计程序。

4、图文输出：需要刻字机，把设计好的图文内容刻在不干胶纸上。

5、贴字：把刻好的不干胶片平整地贴到金属板上。

6、剔字：把需要蚀刻处不干胶纸剔除。

7、压实：把字的边缘处压紧压实，PMMA镜片，防止渗水。

8、蚀刻：①电蚀刻：可用标牌蚀刻机填漆机，速度快；②化学蚀刻。

9、水洗：蚀刻到需要的深度停止蚀刻，用清水冲洗干净。

10、晾干：自然晾干或烤干。

11、填漆：金属蚀刻标牌的填漆有好几种，对于此类标牌推荐一下两种：

①喷漆：需要空压机和喷枪——适用于标牌尺寸较大、字体较大的标牌。

②电泳填漆：即用本公司的标牌蚀刻填漆机进行填漆——适用于标牌尺寸不大的标牌。

12、油漆干燥：自然干燥或烤漆。

13、剥皮：剥掉图文以外起保护作用的不干胶。

14、检查、修整、清洁——成品。

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