这就要选择容易 再生和补偿, 而蚀刻速率又容易控制的蚀刻液, 并 选用能提供恒定的操作条件和能自动控 制各种溶液参数的工艺和设备, 通过控制溶铜量、 PH 值、 溶液的浓度、 温度及溶液流量 的均匀性（喷淋系统或喷嘴, 以至喷嘴的摆动）等来实现蚀刻速率的一致性。 3. 提高基板表面的蚀刻速率的均匀性 基板的上下两面以及板面上各部位的蚀刻的均匀性, 皆决定于板表面受到蚀刻剂流 量的均匀性所影响。 在蚀刻的过程中﹐上下板面的蚀刻速率往往并不一致。11、填漆：金属蚀刻标牌的填漆有好几种，对于此类标牌推荐一下两种：①喷漆：需要空压机和喷枪——适用于标牌尺寸较大、字体较大的标牌。 一般来说﹐下板面的蚀刻速 率会高于上板面。

条宽损失 (Etch bias) 过蚀刻 (Over etch) – 在平均膜厚完全蚀刻掉以后的额外蚀刻。补偿蚀刻速率和膜厚的不均匀 性。 残留物 (Residues) – 在蚀刻和平版印刷过程中无意留下的物质。 微掩膜（Micro-masking）-- 由于微粒，薄膜掺杂以及残留物产生的无意留下的掩膜。 糊胶（Resist reticulation）-- 温度超过 150 摄氏度时光刻胶产生的燃烧和折皱。氨在溶液中的变化量也是需要加以控制的,有一些用户采用将纯氨通入蚀刻储液槽的做法,但这样做必须加一套PH计控制系统,当自动监测的PH结果低于默认值时﹐便会自动进行溶液添加。 纵横比（Aspect ratio）-- 器件结构横截面深度和宽度的比率。

六、酸/碱体积比的检验方法： 开机运行到设定温度后(约 15~20 分钟),测试酸液及碱液的体积比,在规定范围内方可进行生产。 1．酸液 1）新配酸液和使用过的酸液的测定 a.将酸液稀释 用吸量管吸取 10ml 酸液，放入 100ml 容量瓶中，然后加入纯水至刻度处，盖好玻璃塞，摇匀备用；标牌蚀刻法适用于批量大、品种多、大平面的薄型金属材料加工和金属制品表面工艺装饰（半腐蚀），亚克力同时也适用于单件小批打样。 b.测定酸液当量体积 用吸量管吸取 10ml“a”之稀释液，放入锥瓶中，加入纯水 30ml 摇匀，再加入酚酞指示剂 1~3 滴并记下锥瓶 内溶液的体积为 V1，再取***（NaOH）标准溶液倒入滴管内一般以 50ml 为基准，然后缓慢滴入锥瓶中， 滴至粉红色后摇匀一分钟后不褪色为终点，计下此时锥瓶内的数据为 V2，根据以下公式计算出溶液的体积