蚀刻标牌
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***必须要通过 芯片上的小孔才能进入通道网络,所以通过微加工技术所制得的具有不同结构和功 能单元的微流控芯片基片,在与盖板封接之前必须在微通道末端打一小孔,组装成 微流控成品才能使用。小孔可钻在基片上,也可钻在盖板上。 ? 玻璃芯片的打孔方法包括金刚石打孔法,超声波打孔法,和激光打孔法。打孔后一 定要将芯片制作和打孔过程中所残留的小颗粒、有机物和金属物等清除干净,包括 化学清洗,亚克力镜片价格,提高芯片表面平整度,以保证封接过程顺利进行 对玻璃和石英材质刻蚀的微结构一般使用热键合方法,将加工好的基片和相同材质的 盖片洗净烘干对齐紧贴后平放在高温炉中,摄像头镜片价格,在基片和盖片上下方各放一块抛光过的石墨板,东莞镜片价格, 在上面的石墨板上再压一块重 0.5kg 的不锈钢块,在高温炉中加热键合。
一般的比重应控制在 18~240Be。溶液 PH 值的影响
蚀刻液的 PH 值应保持在 8.0~8.8 之间。 若 PH 值下降到 8.0 以下时, 将会对金属抗 蚀层不利。 另一方面﹐蚀刻液中的铜不能被完全络合成铜氨络离子﹐使溶液在槽底形成泥 状沈淀, 而这些沈淀物能在加热器上结成硬皮﹐可能会损坏加热器﹐还会使泵和喷嘴受到 堵塞﹐给蚀刻造成困难。 如果溶液 PH 值过高﹐蚀刻液中的氨过饱和﹐游离氨便会释放到大 气之中﹐导致环境污染。 再说﹐溶液的 PH 值增大也会增大侧蚀的程度﹐继而影响蚀刻的精 度。
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