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优点：管理容易，无尘洁净工程收费，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。

乱流式

缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，无尘洁净工程费用，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。

复合式(Mixed Type)：

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。

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根据区域环境、净化程度等因素，净化车间可为若干等级。一般来说，数值越小，代表净化级别越高。即百级gt;千级gt;万级gt;十万级gt;三十万级。

以常见的十万级净化车间来说，指的就是空气洁净度为十万级的洁净车间。

净化车间原理：一般要经过初效过滤、中效过滤、过滤三个过滤段。

气流→初效净化→加湿段→加热段→表冷段→中效净化→风机送风→管道→净化风口→吹入房间→带走尘埃***等颗粒→回风百叶窗→初效净化

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国外洁净室的强度要求极高，例如美国关于洁净室的几个标准的要求是．

100级: 1080-16001x

10000级: gt;lOOOlx

100000级: gt;1000LX

人工光300lx有较好的效果，无尘洁净工程，当工件精细程度更高时，500x也是允许的。对于要红灯照明的地方，如电子行业的光刻车间，其照度一般为25—501x)，

用天然光时可允许更高的照度，因而对工作是有利的，所以今后洁净室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的，这也是为了节能而出现的一种动向。

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