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优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。
乱流式
缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
复合式(Mixed Type):
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。
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4 以轻钢龙骨作为技术检查空间时,在其空间内敷设维修通道至排出口;
5 洁净房间及人员洁净室的外墙窗户,要有良好的气密性,有防止漏气及结露的功能;
6 洁净房间的门窗形状为简单、平滑、不易留存尘土、容易清扫的结构;不要设门槛;并且为防止因潮气产生***或门窗变形,广州化妆品厂洁净工程哪家好,洁净区域内的门窗不能使用木制品;
7 洁净房间的窗要向空气洁净度级别高的房间方向打开,并为便于一般设备的安装、修理及交换,窗户应有足够的大小;
8 洁净房间安装门窗的内墙面应平整,尽可能不要窗台。如有窗台,为防止存留尘土,且清扫方便,要尽可能做成斜面;
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