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光学微电子行业净化工程设计方案分析
对于常规电子厂房洁净室空调的设计,广州车间厂房净化工程哪家好,应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案,以满足生产工艺的要求作为前提。根据以往经验,对于要求高的可以选用组合式空气处理机组集中处理的空调方案;对于要求不高的,又要初***低的,可以选用柜机 FFU。总之,具体的方案选择根据具体情况而定。
●净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均应采用初效、中效、高1效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理,可采用亚空气过滤器代空气过滤器。
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国外洁净室的强度要求极高,例如美国关于洁净室的几个标准的要求是.
100级: 1080-16001x
10000级: gt;lOOOlx
100000级: gt;1000LX
人工光300lx有较好的效果,当工件精细程度更高时,500x也是允许的。对于要红灯照明的地方,如电子行业的光刻车间,广州车间厂房净化工程价格,其照度一般为25—501x),广州车间厂房净化工程,
用天然光时可允许更高的照度,因而对工作是有利的,所以今后洁净室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的,这也是为了节能而出现的一种动向。
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20世纪80年代大规模集成电路和超大规模集成电路的迅速发展,大大促进了洁净工程的发展,集成电路生产工程从64K位到4M位,特征尺寸从2.04m到0.84m。当时根据实践经验,通常空气洁净受控环境的控制尘粒粒径与线宽的关系为1:10,因此洁净工程工作者研制了超空气过滤器,可将粒径gt;0.1pm的微粒去除到规定范围。根据大规模、超大规模集成电路生产的需要,高纯气体、高纯水和高纯***的生产工程也得到很快的发展,从而使服务于集成电路等高工程产品所需的洁净工程都得以高速发展。
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