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光学微电子行业净化工程设计方案分析
对于常规电子厂房洁净室空调的设计,应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案,以满足生产工艺的要求作为前提。根据以往经验,对于要求高的可以选用组合式空气处理机组集中处理的空调方案;对于要求不高的,又要初***低的,工厂空气净化工程,可以选用柜机 FFU。总之,工厂空气净化工程报价,具体的方案选择根据具体情况而定。
●净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均应采用初效、中效、高1效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理,可采用亚空气过滤器代空气过滤器。
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国内外的洁净工程的发展都是随着科学工程的发展、工业产品的日新月异,特别是军事工业、航天、电子和生物等工业的发展而不断发展。现代工业产品生产和现代化科学实验活动要求微型化、精密化、高纯度、高质量和高可靠性。微型化的产品如电子计算机,从当初的要在数间房间内配置数台设备组合发展到现在的笔记本电脑,工厂空气净化工程价格,它所使用的电子元器件从电子管到半导体分离器件到集成电路再到超大规模集成电路,仅集成电路的线宽已从几微米发展到现今的0.1um左右。
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制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。此空间的设计施工过程即可称为净化工程。
乱流式 (Turbulent Flow)
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板
乱流式
回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
优点:构造简单、系统建造成本低,洁净室的扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
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