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3、光学微电子行业净化工程设计方案分析之分体空调柜机 FFU送风口
这是简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内,并用彩钢围护起来,在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。
优点:
A.不需要占用机房面积,布置很灵活的;
B.可以满足空气的洁净度;
C.造价。如此类无尘车间初***约需要40万;
D.送风均匀度好。
20世纪80年代大规模集成电路和超大规模集成电路的迅速发展,大大促进了洁净工程的发展,集成电路生产工程从64K位到4M位,特征尺寸从2.04m到0.84m。当时根据实践经验,通常空气洁净受控环境的控制尘粒粒径与线宽的关系为1:10,因此洁净工程工作者研制了超空气过滤器,可将粒径gt;0.1pm的微粒去除到规定范围。根据大规模、超大规模集成电路生产的需要,高纯气体、高纯水和高纯***的生产工程也得到很快的发展,从而使服务于集成电路等高工程产品所需的洁净工程都得以高速发展。

利用空气净化设备,把车间内的粉尘、挥发的气体等污染物集中排出车间,排出时严格按照***标准安装净化回收装置,保证气体洁净度后再排入大气。
或者还可通过回收利用,变废为宝,甚至变害为宝,企业效益也随之增加。
例如,制造企业在污水处理过程中产生大量的可燃废气,经过密闭收集,可以用来发电或制造蒸汽;生产中的青菌渣在60度的温度下灭活之后,与其他农作物下脚料或污泥混合,发酵9-15天后就成了有机肥。凭借此项,企业可以收回之前的***成本。
净化工程,不仅确保工厂生产的合理合法性,更保障了生产品质、维护着企业的长远利益。
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