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层流式空气气流运动成一均匀之直线型，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用，一般其洁净室等级为Class1~100。其型式可分为二种：

(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，1尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。

优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。

缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。

(2)垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。

1选用气密性良好，且依温度变化变形小的材料；墙壁内装需加轻钢龙骨及保温材时，要采用非燃烧材或难燃烧料；

2 洁净室房间的内墙及吊顶表面，应平滑、光洁、不产生微纹、避免反光、耐腐蚀，在墙壁和底板的拐角做成圆滑形。轻钢龙骨做隔墙，要有防止冲撞措施；

3 关于洁净房间的底板，应整体良好、平滑，具有耐磨耗性、耐腐蚀性及耐冲击性。另外，应有防静电及易清洗除尘的功能；

国内外的洁净工程的发展都是随着科学工程的发展、工业产品的日新月异，特别是军事工业、航天、电子和生物等工业的发展而不断发展。现代工业产品生产和现代化科学实验活动要求微型化、精密化、高纯度、高质量和高可靠性。微型化的产品如电子计算机，从当初的要在数间房间内配置数台设备组合发展到现在的笔记本电脑，它所使用的电子元器件从电子管到半导体分离器件到集成电路再到超大规模集成电路，仅集成电路的线宽已从几微米发展到现今的0.1um左右。