怎么控制10万级无尘净化车间的污染？

洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。10万级无尘净化车间净化工程具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。想了解更多相关信息，可以咨询昭明净化机电工程有限公司，谢谢！

10万级无尘净化车间等级划分（二）

1000级：千级的10万级无尘净化车间主要用于高质量光学产品的生产，还用于测试，装配飞机蛇螺仪，装配高质微型轴承等。

10000级：万级10万级无尘净化车间用于液压设备或气压设备的装配，某些情况下也用于食品饮料工业，此外，万级10万级无尘净化车间在医工业中也很常用。

100000级：十万级10万级无尘净化车间用于很多的工业部门，比如光学产品的制造，用于较小的元器件制造大型的电子系统，液压或气压系统的制造，食品饮料的生产，***工业也常常使用这一级无尘车间。

300000级别：三十万级10万级无尘净化车间级别较低，用于普通洁净区，如级别不高的走道。

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10万级无尘净化车间洁净棚：

洁净棚，又名10万级无尘净化车间洁净棚/净化洁净棚/百级洁净棚/千级洁净棚/万级洁净棚，为在乱流之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用***之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较*级之洁净空间，其等级为100~10000级，内部空间高度在2.0米左右，覆盖面积约50㎡以下，四支支柱可加装活动轮，可为弹性运用，可配套风淋室使用。常用于局部需要高洁净度场合，如：电子、LCD、线路板、光学、食品等领域。总的来说，洁净棚就是无尘车间内较为适用的简易洁净室。其四周支架采用工业铝型材或不锈钢方通或铁方通多层酸洗静电喷塑作为框架，抗腐蚀、防锈、美观大方。洁净棚常用板材有冷轧钢板和不锈钢板，厚度一般为0.8~1.5mm。不同的材质与尺寸配置会直接影响到洁净棚的价格成本。

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