光学微电子无尘室FFU

风机过滤机组是一种自带动力的送风过滤装置，英文全称为（Fan Filter Unit），具有过滤***的模块化的末端送风装置。风机过滤机组从顶部将空气吸入和并经HEPA过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%左右的速度均匀送出。其广泛应用于光学微电子无尘室净化工程中。

当前光学微电子无尘室中FFU具有灵活性大，便于改造; 占用建筑物空间较少等优点。FFU在用于老建筑物改造成洁净室时，相比于大型模块风机其综合经济性很有优势。但一般FFU系统由于单位风量的能耗较大，因此光学微电子无尘室的冷负荷亦相应增加。且风机会产生一定量的噪音。洁净度要求严的无尘车间，末级过滤器满布率100%时，对大的系统采用FFU，能耗考虑还是不经济的;对小的洁净系统则具有较大意义。

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光学微电子无尘室的静电

由于光学微电子无尘室的洁净度要求，大量的高绝缘介质装饰材料、地面、墙、门、顶棚、隔断、工作台、椅子等等，这些 材料摩擦容易起电带电，不易泄漏释放。人穿洁净工作服、鞋、步行或工作时，与不同物质设备器材摩擦要产生静电，人、衣服、鞋都会带电。无尘车间的洁净度要求越高，静电带电便越严重。

在静电库仑力的作用下，吸附的粉尘、污物造成元器件增大泄漏或形成短路，使性能受损，成品率和可靠性大大下降。当超过***极限电流5mA以上时，人都会有各种伤害感觉，造成工作人员的情绪不安，操作错误。

光学微电子无尘室对静电的控制，确定静电控制级别，尽量减少静电荷的产生， 泄放和中和的办法加速静电荷消散，防止静电积累。

光学微电子无尘室的搭建对场地的要求

光学微电子无尘室一般在室内搭建，对空气的温度，湿度要求比较高，设计者要根据工艺的要求，生产洁净度级别合理选用建筑材料，考虑耐火性能，从而达到洁净棚设计要求。一般工业铝型材是比较好的选择

搭建光学微电子无尘室要选用高洁净度、外表美观，无尘、无菌的电子、血液制品等行业生产车间地面。环氧自流坪地面的使用寿命厚度1mm以上一般可使用6年以上，以上地坪地面垫层下应铺设防潮层，混凝土分仓线不宜通过洁净区。洁净棚的地面应用平整，无缝隙，耐磨，耐腐蚀，不易集聚静电的，便于清理的整体地面。而且还要去设计者在设计中可以采用现浇水磨石地面，所用石子直径应在6-15mm之间。其格条必须采用铜条分隔，不得采用玻璃条。室内墙面应光滑，平整，不起尘，耐腐蚀，色彩和谐，便于识别污染物，内墙涂料必须采用防霉防静电和消毒的材料涂刷，墙面与地面相交处宜做半径50毫米的圆弧，以减少灰尘积聚，和便于清洁。

一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于洁净棚空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，合格率也势必降低。