磁控溅射镀膜机-徐州镀膜机-至成镀膜机制造厂家
作者:至成真空科技2020/10/14 4:20:53








真空镀膜机的安装


真空镀膜机应安置于清洁而干燥的室内。镀膜工作室的环境应是空气清洁,设有空调设备,室温一般在23~25℃之间,相对湿度为60%左右。

工作室温度太高会影响抽速,温度太低则机械泵难以起动。室内太潮湿会影响膜层质量。

由于大多数膜料都有不同程度的毒性,当钟罩打开时会飞散在室内空气中,因此在钟罩附近应安装抽风设备,以便在钟罩打开时抽掉真空室内的有***体与飞扬的碎屑。

镀膜机应装在靠墙处,但四周应留有检修与操作空间,并有冷却水源,水压约为3个大气压。镀膜机的防振要求不高,无需特殊机座,但必须安置平稳,不应有振动。



氧化物怎么镀膜?


氧化物镀膜过程是很复杂的,但其主要影响因素就是镀膜原料成膜的时候凝聚力、镀膜与基材的吸附力及基材温度,而三者之间又相互关联约束。那氧化物的镀膜到底是怎么个过程呢?下面我们就来听听真空镀膜设备至成真空科技的讲解!

从蒸发源射出的蒸汽流脱离蒸镀原料表面的时候温度很高,能量也比较高,在上升通过蒸发区到达基材表面的过程中,由于碰撞、运动中的能量交换导致动能下降,到达基材表面的粒子很快与基材交换能量,迅速沉积在其表面。

在镀膜工艺中,离子轰击改善基材的表面,在蒸发区建立等离子气体以提高气化微粒功能等辅助手段,较好地解决了镀膜与基材结合牢固度的问题。其实在众多的镀膜工艺里,氧化物镀膜工艺和程序是有非常大的难度的,因为它面临着很多因素影响,环境和材料等等,但是氧化物的镀膜工艺却是受到广大的企业生产的亲睐。所以这种镀膜工艺和设备的发展趋势会越来越好!



真空镀膜机冷却配套冷水机的作用


真空镀膜机冷却配套冷水机的作用是维持真空镀膜机器的温度,使其工作达到、率控制温度的目的。以前在没冷水机的情况下,自然水和水塔散热都不可避免地受到自然气温的影响,而且此方式控制是极不稳定的。因此,可以说冷水机是真空镀膜设备中非常重要的配套冷却设备,因为冷水机直接关系到真空镀膜机工作效果的好坏。

真空镀膜机为什么要配套冷水机?

这个要从真空镀膜工作原理查看:膜料在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜料分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光,所以必须在高真空下才能使结晶体细密光亮,如果真空度不高结晶体就会失去光泽,结合力也很差。

冷水机设有制冷系统和冷却水循环系统,水温在5℃~30℃范围内调节控制,可以达到、率控制温度的目的。其冷却原理是:制冷系统将水冷却,再由水泵将低温冷却水送入真空镀膜机进行降温,冷水机冷冻水将热量带走后温度升高再回流到水箱,达到冷却的作用。


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