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作者:至成真空科技2020/9/23 23:54:02









常用的光学镀膜有哪些?


分光膜

根据一定的要求和一定的方式把光束分成两部分的薄膜。分光膜主要包括波长分光膜、光强分光膜和偏振分光膜等几类。

波长分光膜又叫双色分光膜,顾名思义它是按波长区域把光束分成两部分的薄膜。这种膜可以是一种截止滤光片或带通滤光片,所不同的是,波长分光膜不仅要考虑透过光而且要考虑反射光,二者都要求有一定形状的光谱曲线。波长分光膜通常在一定入射角下使用,在这种情况下,由于偏振的影响,光谱曲线会发生畸变,为了克服这种影响,必须考虑薄膜的消偏振问题。

光强分光膜是按照一定的光强比把光束分成两部分的薄膜,这种薄膜有时仅考虑某一波长,叫做单色分光膜;有时需要考虑一个光谱区域叫做宽带分光膜;用于可见光的宽带分光膜,又叫做中性分光膜。这种膜也常在斜入射下应用,由于偏振的影响,二束光的偏振状态可以相差很多,在有些工作中,可以不考虑这种差别,但在另一些工作中(例如某些干涉仪),则要求两束光都是消偏振的,这就需要设计和制备消偏振膜。



真空镀膜机蒸发系统介绍


真空镀膜机蒸发系统主要指成膜装置部分,镀膜机器的成膜装置很多,有电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等多种方式,鄙人就电阻加热和电子枪蒸发两种方式作介绍,因为此两种方式我应用的比较多。

电阻蒸发根据其结构和工作原理是目前为止应用多,广泛的蒸发方式,也是应用时间长的蒸发方式。它的工作方式是,将钨片做成船状,然后安装在两个电极中间,在钨舟***加上***,再缓缓给电极通电,电流通过钨舟,钨舟通电发热,这些低电压,大电流使高熔点的钨舟产生热量,再热传导给镀膜材料,当钨舟的热量高于镀膜材料熔点的时候,材料就升华或者蒸发了,此方法由于操作方便,结构简单,成本低廉,故被很多设备应用,但是其蒸发出来的薄膜由于致密性不佳,加上很多材料无法采用这种方式蒸镀,所以其有一定局限性。钨舟蒸发镀膜材料的时候,材料的熔点必须小于钨舟的熔点,否则就没有办法进行。



真空镀膜机光学厚度的监测

真空镀膜机光学厚度的监测 精度的提高,由于许多因素,但根本的原因是光学厚度的监测。optimalswa-i-05单一波长的光学监测系统,是间接控制,镀膜机***的光学监测软件结合王博士的发展,有效地改善和灵敏度变化的光反应的膜厚度的减少的误差的理论方法,提供监测波长的反馈或传输模式的选择和广泛的。特别适用于涂布各种薄膜厚度监控包括不规则的膜。


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