杭州AF真空镀膜设备厂家询问报价 至成镀膜设备量身订制
作者:至成真空科技2020/9/21 2:49:03









常用的光学镀膜有哪些?


干涉滤光片

是种类多、结构复杂的一类光学薄膜。它的主要功能是分割光谱带。常见的干涉滤光片是截止滤光片和带通滤光片。截止滤光片可以把所考虑的光谱区分成两部分,一部分不允许光通过(称为截止区),另一部分要求光充分通过(称为带通区)。按照通带在光谱区的位置又可分为长波通和短波通二种,它们简单的结构分别为,这里H、L分别表示厚的高、低折射率层,m为周期数。具有以上结构的膜系称为对称周期膜系。如果所考虑的光谱区很宽或通带透过率的波纹要求很高,膜系结构会更加复杂。

带通滤光片只允许光谱带中的一段通过,而其他部分全部被滤掉,按照它们结构的不同可分为法布里-珀罗型滤光片、多腔滤光片和诱增透滤光片。


光学薄膜的结构与法-珀标准具相同,因为由它获得的透过光谱带都比较窄,所以又叫窄带干涉滤光片。这种滤光片的透过率对薄膜的损耗非常敏感,所以制备透过率很高、半宽度又很窄的滤光片是很困难的。多腔滤光片又叫矩形滤光片,它可以做窄带带通滤光片,又可以做宽带带通滤光片,制备波区较宽,透过率高,波纹小的多腔滤光片同样是困难的。

诱增透滤光片是在金属膜两边匹配以适当的电介质膜系,以增加势透过率,减少反射,使通带透过率增加的一类滤光片。虽然它的通带性能不如全电介质法-珀滤光片,却有着很宽的截止特性,所以还是有很大的应用价值。特别在紫外区,一般电介质材料吸收都比较大的情况下,它的优越性就更明显了。图3的a、b、c分别给出法布里-珀罗型滤光片、多腔滤光片和诱增透滤光片的典型曲线。



真空镀膜机镀铝时,应该注意哪些事项


用真空镀膜设备镀铝膜,基本工艺流程为:预真空─离子清洗─镀铝─离子轰击─镀保护膜─放气。预真空对镀膜室抽真空至5×10,2Pa时,充入Ar气430mL,利用2个适当的电极间的低压辉光放电产生的离子轰击达到清洗和辅助预热镀膜基底的作用,轰击时间为150s;镀铝部分蒸发器快速升至高温,铝丝从预热、熔化、蒸发镀铝到镀铝完成的时间为30s多;采用二次离子轰击,去除膜表面粒状颗粒,使膜层更加致密,轰击时间为80s;镀保护膜时间为(200amp;plu***n;50)s,真空度为3amp;times;10?2Pa,由充入的硅油流量加少量Ar气来控制真空度,硅油流量由调节阀控制,直至放气结束。



真空镀膜设备作业时的应急预案很实用

真空镀膜设备作业时的应急预案很实用 1、设备工作一段时间需清理打扫 设备工作一段时间,一般50到70炉次,需清理打扫,把粉尘清出炉外,然后空炉工作一次。工作的方式是先抽空为真空度高于10-2Pa时加热,加热温度一般高于正常使用温度的20℃。在高炉温时保温一个小时以上,然后自然冷却。这样使设备内部空间保持清洁。 2、更换充气气瓶 设备所用充气气瓶需更换时,拆掉稳压阀,换上一瓶新气,一定要注意安装时不许漏气。在换上新气瓶后,在工件没加热前,应在抽空过程中对炉内充气,以便在换气瓶过程中造成的管路内存有的大气抽出,使充气管路保持清洁。


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