真空镀膜机使用前的准备工作

在使用真空镀膜机前，必须详阅使用说明书，熟悉整机结构原理，各部件的作用和操作方法。

1、确认水、电、气均已安装无误后，先试运行滑阀泵、罗茨泵，其转动方向要与各泵规定的方向一致。

2、检查设备的各个动力传动装置运转是否正常。

3、检查卷绕车的开动情况，检查卷绕车与真空罐对接的密封是否可靠，检查装于导轨上的各个行程开关是否工作正常，检查履带的安放及***情况是否完好。

4、按照从低真空到高真空的次序，逐级调试真空系统，检查各个环节的密封是否可靠，各个阀门开闭是否灵活，霍尔开关位置是否正确，各真空泵均应运转平稳、无异常振动、无异常噪音。

真空镀膜机镀膜原理：

高电压电子枪将以上几种***汽化，均匀分布在镜片表面。

1.全表面单层镀膜（FC）:所有接触空气的玻璃表面都镀了单层减反增透膜。如果在所有的空气介面上都镀上单层减反增透膜，会在一个波段上取得更高的透光率。为方便工艺，在全表面单层减反膜的设计中，某一片的二个面中心波长通常一致。

2.多层减反增透膜和宽带膜（MC）:单层膜的剩余反射率仍显高，偏色现象比较严重。要进一步提高透光率，可用双层Ｖ形增透膜，用层镀膜控制镜片的反射率，第二层镀膜改善光透射率。对于单层氟化镁膜，光学玻璃的折射率ng是太低，可先镀一层厚度为λc2/4（λc2为光在镀膜中的波长）的折射率大于镜片折射率的一氧化硅膜（折射率为nc2），这时薄膜和基片的组合系统可以用一折射率为v=nc2^2/ng的假想基片来提高镜片的折射率，然后镀上一层λc1/4氟化镁膜层来减少反射率。但对于偏离λ的波长，不能等价也不能满足干涉相消的条件，故分光曲线呈Ｖ形，色彩仍不平衡。

要进一步消除彩斑幻象，平衡色彩可用双层或多层Ｗ形宽带减反增透膜，多层减反增透膜系还原真实色彩，并不是要求镜片在可见光(370nm―680nm)光谱范围内透过率一致。而是要求在蓝、绿、红光（370nm―480nm、500-550nm、580nm―680nm）三个通道通过的光线恰好可以合成标准的白光。这种膜系的反射率曲线在520nm-540nm区间形成一个0.8%左右的反射峰，在440nm和640nm处有二个反射谷，形状像W曲线，所以叫W形减反增透膜。这种膜系的反光为翠绿色所以也称减反绿膜。

真空镀膜机机械泵的分类

真空镀膜机机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。 机械泵的分类：机械泵有很多种，常用的有滑阀式(此主要应用于大型设备)、活塞往复式、定片式和旋片式(此目前应用广泛，本文主要介绍)四种类型。机械泵常常被用来抽除干燥的空气，但不能抽除含氧量过高、有性和腐蚀性的气体，机械泵一般被用来抽除性的气体，但是对水气没有好的效果，所以它不能抽除水气。旋片泵中起主要作用的部件是定子、转子以及弹片等，转子在定子里面但与定子不同心轴，象两个内切圆，转子槽内装有两片弹片，两弹片中间装有弹簧，保证了弹片紧紧贴在定子的内壁。