性能高的节能玻璃需要通过真空磁控溅射工艺在玻璃表面依次镀上厚度为纳米级的10多层金属和非金属薄膜，使玻璃对光谱具有选择性透过功能，能透过大部分可见光，不影响采光，又能阻挡红外、远红外、紫外光，阻断热辐射，生产技术极为复杂。大面积真空镀膜技术和以此为基础的镀膜设备制造业长期被国外公司垄断，单条生产线的技术引进和设备进口费用高达1.5亿元。采用这一工艺生产的产品不仅克服了目前低辐射镀膜玻璃普遍存在的膜层易脱落、易氧化、不能热加工等不足，而且具有可钢化，镀层暴露在大气中3个月以上不氧化、可异地加工等优异性能。

真空计是真空磁控溅射镀膜机器上有什么作用

真空计：真空计是真空磁控溅射镀膜机器上的重要组成部分，它是检测镀膜机真空度的重要手段。真空计根据其工作原理可以分为真空计和相对真空计，真空计可以直接测量压强的高低，相对真空计只能间接测量真空度。蒸发系统主要指成膜装置部分，镀膜机器的成膜装置很多，有电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等多种方式，鄙人就电阻加热和电子枪蒸发两种方式作介绍，因为此两种方式我应用的比较多。电子束蒸发的大优点在于：电子束的光斑可以随意调整，可以一枪多用，灯丝可以隐藏，避免污染，可以蒸发任意镀膜材料，维修方便，蒸发速度可以随意控制，材料分解小，膜密度高。机械强度好。成膜控制系统，薄膜监控目前应用方式比较多，主要有：目视监控法，定（极值）值监控、水晶振荡监控、时间监控等等。本人主要介绍目视监控、定（极值）监控和水晶振荡监控三种。目视监控也叫直接监控，就是采用眼睛监控，因为薄膜在生长的过程中，由于干涉现象会有颜色变化，我们就是根据颜色变化来控制膜厚度的，此种方式有一定的误差，所以不是很准确，需要依靠经验。

真空镀膜设备实验分析与讨论蒸发磁控溅射镀膜机

蒸发磁控溅射真空镀膜设备是设备利用磁控溅射阴极辉光放电将原子离化沉积在基材上和真空中利用电阻加热法对金属丝进行处理,

利用特定薄膜涂层实现产品不导电和电磁屏蔽的作用,以满足现行手机的电子产品制造行业标准。

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这种设备集中了等离子体处理,阴极磁控溅射,电阻蒸发镀膜装置,工作可靠、重复性一 致性良好、沉积速率高快,附着力好,

膜层品质细腻，可保持原有工件表面光洁,具有韧性好,不易脱落。过程中实现了镀膜工艺全自动化控制,在基材表面利用真空镀膜方法进行涂层,蒸发磁控溅射镀膜机具有生产成本低、产品合格率高、绿色环保等特点,主要适用于电脑、手机、工业电子电器、可镀制复合金属膜、合金膜电磁屏蔽膜及特殊膜层等领域。