中频磁控溅射镀膜设备有哪些特点

中频磁控镀膜设备溅射技术已渐成为溅射镀膜的主流技术，它优于直流磁控溅射镀膜。中频磁控镀膜设备溅射技术已渐成为溅射镀膜的主流技术，它优于直流磁控溅射镀膜的特点是克服了阳极消失现象；减弱或消除靶的异常弧光放电。因此，提高了溅射过程的工艺稳定性，同时，提高了介质膜的沉积速率数倍。

新研发平面靶，圆柱靶，孪生靶，对靶等多种形式的中频溅射靶结构和布局。该类设备广泛应用于表壳、表带、手机壳、高尔夫球具、五金、餐具等镀TiN、TiC、TICN、TiAIN、CrN等各种装饰镀层。

柔性电子卷绕真空镀膜设备

HCFLC系列卷绕镀膜设备为各种各样的柔性和可穿戴电子产品，传感器，RFID标签，智能玻璃，智能包装等提供了一种非常有竞争力和成本效益高的薄膜涂层技术。高质量低电阻率铜或TCO层和结构的应用，在满足当今和未来市场需求的同时，成功地弥合了生产率和多功能性之间的差距。

HCFLC系列是生产和研发的良好选择。几乎无限的可能性，在安排多达六组可旋转的旋转器和机器的能力，应用大量的现场测量传感器，使机器能够在生产环境中生产，同时又是非常灵活和灵活的，当作为一个研发机器使用。

这也使得该机成为诸如ITO膜、柔性印刷电路板（FPCB）、LOW-E或智能玻璃等应用的。可旋转磁控管，涂层宽度为2000毫米，可能的衬底辊直径为500毫米，是高生产率的基础。

此外，相邻工艺段之间的可选气体分离允许在一个过程中沉积各种各样的金属和电介质层。

除了能够在非反应溅射工艺的同时运行反应溅射工艺外，HCFLC系列还可以配备各种原位传感器，用于连续、准确地监测所需的物理层特性，如层电阻率、反射率或透射比。

真空磁控溅射镀膜机机械泵的分类

1.机械泵的分类：机械泵有很多种，常用的有滑阀式(此首要使用于大型设备)、活塞往复式、定片式和旋片式(此现在使用广泛，这篇文章首要介绍)四种类型。

2.机械泵是从大气开端作业的，它的首要参数有极限真空，抽气速率，此为规划与选用机械泵的重要依据。单级泵能够将容器从大气抽到1.0*10-1PA的极限真空，双级机械泵能够将容器从大气抽到6.7*10-2帕，甚至更高。

抽气速率，是指旋片泵按额外转数工作时，单位时间内所能排出气体的体积，能够用下公式核算：Sth=2nVs=2nfsLfs表明吸气完毕时空腔截面积，L表明空腔长度，系数表明转子每旋转一星期有两次排气进程，Vs表明当转子处于水平位置的时分，吸气完毕，此刻空腔内的体积大，转速为n。

机械泵排气的效果还与电机的转速及皮带的松紧度有联系，当电机的皮带比较松，电机转速很慢的时分，机械泵的排气效果也会变差，所以要常常养护，点检，机械泵油的密封效果也需求常常点检，油过少，达不到密封效果，泵内会漏气，油过多，把吸气孔阻塞，无法吸气和排气，通常，在油位在线下0.5厘米即可。

3.机械泵常常被用来抽除枯燥的空气，但不能抽除含氧量过高、有性和腐蚀性的气体，机械泵通常被用来抽除性的气体，但是对水气没有好的效果，所以它不能抽除水气。

旋片泵中起首要效果的部件是定子、转子等，转子在定子里面但与定子不一样心轴，象两个内切圆，转子槽内装有两片弹片，两弹片中心装有绷簧，确保了弹片紧紧贴在定子的内壁。

在镀膜的过程中，出现异样具体该真么处理呢？

大家在镀膜的过程中，可能有时候会发现，膜层上有时会出现白点的异样发生，经过技术人员的检测和排查，大部分都是因为产品周转运输或在炉内生产时素材受到污染，产品表面有尘点、毛丝等，PVD出炉后灰尘脱落露出底材颜色。所以大家在使用真空磁控溅射镀膜机镀膜过程中缩短产品在炉外停滞时间及炉内洁净度管控，减少***掉落在产品表面。有时膜层也会出现掉膜（点状掉膜、局部掉膜、边缘掉膜）情况，不知道大家有没有碰到过。它主要产生的原因是产品表面脏污，膜层无法在产品上沉积或结合力差，在自然或人为的因素下产品表面漏出底材，所以大家在镀膜前，一定要把产品清洗干净，避免污染产品，确保表面洁净度。还有一种经常出现的情况，就是出现彩虹纹（产品发彩，出现这种情况主要原因是彩虹纹主要体现在颜色较深的产品上，因生产过程中形成一定角度遮挡，膜层无法均匀、有效的覆盖在产品表面。因此镀膜的时候，要更改更改装夹方式，或者提高成膜能量。有的客户会发现，产品镀膜出来后会出现脏污情况，导致出现这个主要原因是产品出炉后周转过程中因人为因素造成的表面污染,解决流程是产品PVD下挂、检查、打包作业人员手套、指套洁净度及环境管控。