真空计是真空磁控溅射镀膜机器上有什么作用
真空计:真空计是真空磁控溅射镀膜机器上的重要组成部分,它是检测镀膜机真空度的重要手段。真空计根据其工作原理可以分为真空计和相对真空计,真空计可以直接测量压强的高低,相对真空计只能间接测量真空度。蒸发系统主要指成膜装置部分,镀膜机器的成膜装置很多,有电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等多种方式,鄙人就电阻加热和电子枪蒸发两种方式作介绍,因为此两种方式我应用的比较多。电子束蒸发的大优点在于:电子束的光斑可以随意调整,可以一枪多用,灯丝可以隐藏,避免污染,可以蒸发任意镀膜材料,维修方便,蒸发速度可以随意控制,材料分解小,膜密度高。机械强度好。成膜控制系统,薄膜监控目前应用方式比较多,主要有:目视监控法,定(极值)值监控、水晶振荡监控、时间监控等等。本人主要介绍目视监控、定(极值)监控和水晶振荡监控三种。目视监控也叫直接监控,就是采用眼睛监控,因为薄膜在生长的过程中,由于干涉现象会有颜色变化,我们就是根据颜色变化来控制膜厚度的,此种方式有一定的误差,所以不是很准确,需要依靠经验。
如何采用真空镀膜设备在眼镜片上
现在配眼镜时,需要在眼睛上加膜,采用真空镀膜设备镀膜主要有两个作用:
1、增加镜头透光率;2、防止散光干扰,提高清晰度。
采用真空镀膜设备进行镜片镀膜需要注意以下问题:
1、镜片需要清洗
需要采用各种清洗液进行镜片清洗,清洗度要高。清洗完成之后,放进镀膜设备的真空仓内,过程中不能沾染灰尘。采用离子枪轰击镜片表面,就可以进行镀膜了。
2、膜层的牢固性
膜层的牢固性将影响镜片的质量个磨损度。
3、再镀抗污膜
镜片的表面容易产生污渍,使得镜片模糊不清,我们可以在镜片表面镀上多层发射膜,减少油污或其他污渍。佳的方法就是采用真空镀膜,可以使用蒸发工艺将氟化物镀于反射膜上。
真空镀膜机真空室形变带来的影响为尽量减小
真空镀膜机真空室形变带来的影响 为尽量减小真空镀膜机真空室形变带来的影响,我们将导轨、丝杆等传动件固定于一个刚性的中间层上,其与真空室底壁之间采用点、线、面活性支撑,以吸收和隔离形变,并设置形变补偿调节机构,在系统抽真,参照有限元计算提供的理论数据预设适当的补偿量,以使其在真空状态下达到平衡。 为了验证有限元计算的结果,对真空室的形变和补偿进行了测试。步,将四只千分表***在工作台安装基点的真空壁外侧,当真空室由大气抽到真空时,记录各千分表的变化量,经化处理后为用激光自准直仪调变补偿。
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