真空镀膜机的真空室该如何设计呢?
真空镀膜机相比大家都存有疑惑,今天来讨论一下的是关于真空镀膜设备真空室的设计问题,要是您有兴趣了解的话可以和宝瑞钛金一起来看看下面的内容。
真空镀膜技术是在真空条件下采用物理或者化学方法,使物体表面获取所需膜体,真空镀膜技术根据其采用方法的不同科分成蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积以及分子束外延等,这次分析的镀膜设备采用的是磁控溅射镀膜。
真空室是真空设备的一个主要组成部位,真空镀膜设备真空室设计主要考虑的就是密封性和可靠性,结构必须要合理,真空设备的材料生产都是在真空室内进行的,材料对真空度的影响要小,设计不能马虎,要注意一些问题。
中频磁控溅射镀膜设备有哪些特点
中频磁控镀膜设备溅射技术已渐成为溅射镀膜的主流技术,它优于直流磁控溅射镀膜。中频磁控镀膜设备溅射技术已渐成为溅射镀膜的主流技术,它优于直流磁控溅射镀膜的特点是克服了阳极消失现象;减弱或消除靶的异常弧光放电。因此,提高了溅射过程的工艺稳定性,同时,提高了介质膜的沉积速率数倍。
新研发平面靶,圆柱靶,孪生靶,对靶等多种形式的中频溅射靶结构和布局。该类设备广泛应用于表壳、表带、手机壳、高尔夫球具、五金、餐具等镀TiN、TiC、TICN、TiAIN、CrN等各种装饰镀层。
多弧离子镀膜机的运用
多弧离子镀膜机用于不一样层次五金商品,通常的修建五金件、锁具,用多弧离子镀膜设备可担任,中高层次商品如表带、表壳、眼镜框、手机壳、高尔夫球具、卫浴洁具、饰品等,通常选用电弧/中频( 直流)磁控溅射复合型镀膜设备,依据装载量选用巨细机型。该设备可镀黄金色、玫瑰金、咖啡色、棕色、古铜色、蓝色等装修膜。
蒸发系统的结构与工作原理介绍
蒸发系统由蒸发源、送丝机构、水冷挡板等组成。HD1500-12型高真空卷绕镀膜机所用的蒸发源为氮化硼蒸发舟,它具有耐腐蚀、耐热性能优良、蒸镀层纯度高等特点。采用电阻加热方式,由送丝机构将铝线连续不断地送到对应的蒸发舟表面,使它们迅速加热得以蒸发。
蒸发舟的两端各装在正、负电极上,采用端部嵌入夹紧方式,缝隙垫以石墨纸。电极均采用内部水冷结构,避免发热烧毁。每组蒸发源的功率可通过操作面板上的电位器进行单独调节,也可以整体调节。
送丝机构包括交流电机、减速器、摩擦压轮组等,交流电机联接减速器通过链轮驱动串接在传动轴上的每组压轮,实现铝丝的同步输送,送丝的速度由变频器控制,可通过操作面板上的加速或减速按钮进行调节,速度值在触摸屏中显示。
水冷挡板由固定的蒸发槽和活动挡板组成,两者都要通水冷却。蒸发槽安装在底板上,主要用于阻止热量向四周及下面扩散,活动挡板在蒸发槽的上面,通过真空室外部的气动装置可将其打开或关闭,它是用于在蒸发舟进行预加热和卷绕系统未启动或运转速度较慢时隔绝热源对基材的辐射,避免基材烧损。
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