真空镀膜机泵有哪几种类型

很多人对真空镀膜机很了解，对真空镀膜机泵却接触很少，也不知道真空镀膜机泵到底有啥作用，分那几类，下面为大家详细介绍一下，真空镀膜机泵有几大类，它们各自原理是怎样的。真空镀膜机有三个泵的：机械泵（一般是油旋转泵），增压泵又叫罗茨泵，高真空泵（扩散泵或者分子泵）。

机械泵是从大气开始工作的，机械泵排气的效果还与电机的转速及皮带的松紧度有关系，当电机的皮带比较松，电机转速很慢的时候，机械泵的排气效果也会变差，所以要经常***，点检，机械泵油的密封效果也需要常常点检，油过少，达不到密封效果，泵内会漏气，油过多，把吸气孔堵塞，无法吸气和排气，一般，在油位在线下0.5厘米即可。

增压泵，它是具有一对同步高速旋转的双叶形或多叶形转子的机械泵，由于它的工作原理与罗茨鼓风机相同，所以又可以叫罗茨真空泵，此泵在100-1帕压强范围内有较大的抽气速度，它弥补了机械泵在此范围内排气能力不足的缺点，此泵不能从大气开始工作，也不能直接排出大气，它的作用仅仅是增加进气口和排气口之间的压差，其余的则需要机械泵来完成，因此，它必须配以机械泵作为前级泵。

油扩散泵,机械泵的极限真空只有10-2帕，当达到10-1帕的时候，实际抽速只有理论的1/10，如果要获得高真空的话，必须采用油扩散泵。

引起镀膜玻璃膜层不均匀原因有哪些

由于残余气体的存在，不但影响膜的纯度及质量，还会产生。所以在生产中要选用高纯度的气为工作气体，严格控制真空室的漏气速率，以减小残余气体对原片及膜层的污染。将残余气体的压力控制在10Pa以下，要经常清理加热室、玻璃过渡室、溅射室的环境，减少扩散泵返油对玻璃的污染。同时可适当提高阴极的溅射功率，以增加粒子动能及扩散能力，这将有利于清除被镀膜玻璃表面的残留物质，减少镀膜玻璃的。镀膜玻璃膜的膜层均匀度一般地讲，同一基片上膜层厚薄不同，就称之为膜层不均匀。引起镀膜玻璃膜层不均匀的原因是多方面的。磁控溅射靶的水平磁场强度（B）对膜层均匀度的影响磁控溅射的关键参数之一是与电场垂直的水平磁场强度B，因为水平磁场强度B要求在阴极靶的表面是一个均匀的数值。而实际生产过程中值是随着使用方法及时间的推移，产生一定的变化，而出现不均匀现象。我们从溅射过的阴极靶材的刻蚀区的变化情况就可以验证。

冲压件真空镀膜设备

工具经冲压件真空镀膜设备硬质涂层处理后，其性能更稳定，可出稳定、高质量的工件，可防止功能性表面、刀刃和拉伸半径受到磨损，显著延长工具的使用寿命；使用寿命的延长和行程率的提高在提高生产率的同时降低了单位成本；底层坚硬而顶层摩擦低的涂层系统，降低了粘附磨损，从而可能减少对环境产生不良影响的润滑剂的用量，甚至完全不使用润滑剂；因为涂层减少了工具负荷并因而降低了破损风险，生产可靠性得以提高，对于金属薄板成型工具，涂层可用作磨损指示器，磨损和冷焊的减少改进了工件的表面质量，也使工件能够满足对其外观的更高要求，光洁度也与随后的电镀工艺更加相匹配。

真空镀室的真空密封和室内运动部件的设计和用材，充分考虑可承受高温，配置多只园形电弧蒸发源，或配多个矩形平面电弧蒸发源，也可配多只空心阴极枪，同时配置耐冲击的、具有优异灭闪弧性能的偏压电源，保证足够等离子体密度和反应活性，提高膜层致密性和结合力。工件可三维运动，提高膜层均匀性。全自动控制提高工艺稳定性。