严格控制发Al膜的厚度是十分重要的，因为Al膜的厚度将直接影响Al膜的其它性能，从而影响半导体器件的可靠性。对于高反压功率管来说，它的工作电压高，电流大，没有一定厚度的金属膜会造成成单位面积Al膜上电流密度过高，易烧毁。对于一般的半导体器件，Al层偏薄，则膜的连续性较差，呈岛状或网状结构，引起压焊引线困难，造成不易压焊或压焊不牢，从而影响成品率;Al层过厚，引起光刻时图形看不清，造成腐蚀困难而且易产生边缘腐蚀和“连条”现象。采用真空镀膜机电子束蒸发，行星机构在沉积薄膜时均匀转动，各个基片在沉积Al膜时的几率均等;行星机构的聚焦点在坩埚蒸发源处，各个基片在一定真空度下沉积速率几乎相等。采用真空镀膜机磁控溅射镀膜方法，由于沉积电流和靶电压可以控制，也即是溅射功率可以调节并控制，因此膜厚的可控性和重复性较好，并且可在较大表面上获得厚度均匀的膜层。

真空磁控溅射镀膜机常见问题和原理,有多少人知道

真空磁控溅射镀膜机，是目前镀膜行业用得广泛的真空设备，随着行业的发展，各种类型的真空磁控溅射镀膜机也在逐渐出现。但是大部分人，并不了解真空磁控溅射镀膜机的工作原理。真空磁控溅射镀膜机主要是由真空室、真空机组、电气控制柜三大部分组成，排气系统采用“扩散泵 机械泵 罗茨泵 低温冷阱 polycold”组成。真空设备也分好多类型和型号，比喻：磁控溅射镀膜机、不锈钢镀膜机、蒸发镀膜机，种类不一样，用途不一样，型号也就不一样，但是它们的工作原理是相通和类似的，下面为真空小编为大家详细的讲解一下真空磁控溅射镀膜机的原理和常见问题，便于后期大家在采购镀膜机的时候，方便沟通和交流，碰到常见的一些问题，也能自己及时处理，不至于消耗太多不必要的时间。

真空磁控溅射镀膜机真空主体是真空腔，他是根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔体由不锈钢'target=_blankgt;不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。

用真空镀膜技术代替传统的电镀工艺有哪些优势

用真空镀膜技术代替传统的电镀工艺，不但能节省大量的膜材和降低能耗，而且还会消除湿法镀膜中所产生的环境污染。因此国外在钢铁零件涂镀防腐层和保护膜方面，已采用真空镀膜工艺来代替电镀工艺。在冶金工业中，为钢铁和带钢加镀铝防护层已很普遍；在机械制造业中，真空镀膜工艺用于改变改变某些加工工艺和节约贵重的原材料，如飞机涡轮发动机的叶片已经不用价格昂贵的耐高温金属制造，而是采用价格低廉易加工材料，成形后再用真空镀膜的方法在叶片表面上加镀耐高温，耐腐蚀的防护层。再如汽车制造业中采用塑料制品金属化零件代替各种金属零件，既减轻了汽车的重量又节约了燃油的消耗。在金属切削刀具上加镀TiN硬膜可使用刀具寿命提高3～6倍，从而节省了大量的高速钢材。塑料薄膜采用真空磁控溅射镀膜机镀膜的方法加镀铝等金属膜，再进行染色，可得到用于工业中的装饰品薄膜。