全自动镀膜机厂家报价
作者:至成真空科技2020/7/11 20:37:53









镀膜机镀膜工艺的时候该如何调试和掌控均匀性


从开机,到镀膜整套流程完成,都离不开调试机器机这一环节,因此想要成为一位***的镀膜技术人员,调试镀膜机方法和技巧是必须要掌握的要领。特别是新员工,刚上手镀膜工艺的时候,经常会出现镀膜机调试不达标,镀膜均匀性把控不好,因此而烦恼。下面至成真空小编为大家讲解一下,关于真空镀膜机该如何进行时调试和镀膜的时候如何把控好镀膜均匀性,才能顺利完成镀膜整个流程。

首先需要先测试设备的抽真空速度,在测试过程中检查漏气情况与各真空泵的性能;然后再测试设备的密封性能,就是抽到极限后保压1小时看压降是否达标,同时排除细小的漏孔;第三步,产品试作,检验其他的性能,比如传动、加热、绝缘等等;如果有工艺保证的话就继续打样并作测试;并且所有的测试应作记录,并有记录人签字以及有使用部门或工程部门的人确认签字即可。对于不同原理的真空镀膜,影响均匀性的因素也不尽相同。



真空镀膜机溅射镀膜与蒸发镀膜的区别:

蒸发镀膜是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。

蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。

溅射镀膜可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且终沉积在基片表面,经历成膜过程,终形成薄膜。真空镀膜机设备

溅射镀膜又分为很多种,与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。

溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld,组分均匀性容易保持,而原子尺度的厚度均匀性相对较差(因为是脉冲溅射),晶向(外沿)生长的控制也比较一般。


真空镀膜机实验专用设备的主要用途真空镀膜技术分析

真空镀膜机实验专用设备主要用于大专院校、科研单位、实验和研制之用。根据工艺要求研究出不同种类、不同规格、多功能的实验装置,或为某产品需要特研制的专用设备。

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