连续式磁控溅射镀膜设备

该系列生产线主要用于在平板玻璃、压克力、PET、PC等表面镀制高质量、金属膜、电磁屏蔽膜、反应膜、复合膜、透明导电膜、抗反射（AR）、增反射膜，LOW-E等膜层。至成镀膜机厂家可按用户要求提供设计，提供***设备，负责工艺，按交“钥匙”工程服务。

该系列生产线主要用于在平板玻璃、压克力、PET等表面镀制高质量、金属膜、电磁屏蔽膜、反应膜、复合膜、透明导电膜、抗反射（AR）、增反射膜，LOW-E等膜层。至成镀膜机厂家可按用户要求提供设计，提供***镀膜设备，负责工艺，按交“钥匙”工程服务。

优势：设备模组化设计，易拆卸，维修，***；高靶材利用率；高生产力及产品良率；环保制程无污染及环保问题；高客制化兼顾产品规格与低***成本需求；整厂输出：单片式玻璃触控面板整厂输出；CIGS整厂输出；整厂输出；卷对卷ITO膜整厂输出；太阳能整厂输出；电致变色整厂输出；

真空磁控溅射镀膜机机械泵的分类

1.机械泵的分类：机械泵有很多种，常用的有滑阀式(此首要使用于大型设备)、活塞往复式、定片式和旋片式(此现在使用广泛，这篇文章首要介绍)四种类型。

2.机械泵是从大气开端作业的，它的首要参数有极限真空，抽气速率，此为规划与选用机械泵的重要依据。单级泵能够将容器从大气抽到1.0*10-1PA的极限真空，双级机械泵能够将容器从大气抽到6.7*10-2帕，甚至更高。

抽气速率，是指旋片泵按额外转数工作时，单位时间内所能排出气体的体积，能够用下公式核算：Sth=2nVs=2nfsLfs表明吸气完毕时空腔截面积，L表明空腔长度，系数表明转子每旋转一星期有两次排气进程，Vs表明当转子处于水平位置的时分，吸气完毕，此刻空腔内的体积大，转速为n。

机械泵排气的效果还与电机的转速及皮带的松紧度有联系，当电机的皮带比较松，电机转速很慢的时分，机械泵的排气效果也会变差，所以要常常养护，点检，机械泵油的密封效果也需求常常点检，油过少，达不到密封效果，泵内会漏气，油过多，把吸气孔阻塞，无法吸气和排气，通常，在油位在线下0.5厘米即可。

3.机械泵常常被用来抽除枯燥的空气，但不能抽除含氧量过高、有性和腐蚀性的气体，机械泵通常被用来抽除性的气体，但是对水气没有好的效果，所以它不能抽除水气。

旋片泵中起首要效果的部件是定子、转子等，转子在定子里面但与定子不一样心轴，象两个内切圆，转子槽内装有两片弹片，两弹片中心装有绷簧，确保了弹片紧紧贴在定子的内壁。

真空磁控溅射镀膜机的维护***及安全工作措施

真空卷绕镀膜机的维护***及安全工作措施如下：

1、设备接地必须可靠，并经常检查接地装置导电作用。

2、扩散泵和油增压泵在加热情况下，切勿与大气接触，以免泵油氧化。

3、定期检查和调整水流继电器，检查断水报警是否正常，保证设备冷却水供水畅通。

4、扩散泵和油增压泵加热前必须接通冷却水，泵停止工作，但泵内未冷却至80℃以下时，不得切断冷却水，以防止泵芯烧毁。

5、镀膜工作前必须接通全部设备冷却水，以防止电极和基材烧毁。

6、在拆装设备各零部件时，应注意保护各密封工作面不受机械划伤或损伤，以保证设备密封性能可靠。

7、设备各传动转轴真空密封处均采用“骨架式油封”密封形式，骨架式油封内腔均充以润滑油。使用一段时间就会损耗，必须以相同的润滑油充入。

8、经常检查罗茨泵和滑阀泵的存油量，并定期予以补充。同时按其说明书的要求进行维护***。

9、定期检查各行程开关控制器，保证各工作部件处于正常工作状态。

10、每天应对滑阀泵和气源进行排水。

11、定期检查各减速器的储油量及油质。

维修真空镀膜机一定要按照步骤操作

维修真空镀膜机一定要按照步骤操作 首先我们要保证镀膜机与地面充分接触，扩散泵和油增压泵加热前必须接通冷却水并开维持泵。扩散泵和增压泵停止工作，维持泵半小时后才能关，1小时后断水，但泵内未冷却至80℃以下时，不得切断冷却水，以防止泵芯烧毁。 扩散泵和增压泵各留有备用水出口，若镀膜机故障或停电必须开备用出口让其冷却扩散泵和增压泵，镀膜工作前必须接通全部设备冷却进水，以防止电极和基体材料烧毁。设备各传动转轴真空密封处均采用“骨架式油封”密封形式，骨架式油封内间均充以饱和油蒸汽压很低的真空油脂和扩散泵油。使用一段时间即会损耗，必须以相同的真空油脂和扩散泵油充入，决不能用其他油品代替。