真空镀膜机真空的清洗方法,你知道吗?

真空镀膜机真空清洗一般定义为在真空工艺进行前，先从工件或系统材料表面清除所不期望的物质的过程。真空零部件的表面清洗处理是很必要的，因为由污染物所造成的气体、蒸气源会使真空系统不能获得所要求的真空度。此外，由于污染物的存在，还会影响真空部件连接处的强度和密封性能。

一．真空加热清洗

将工件放置于常压或真空中加热．促使其表面上的挥发杂质蒸发来达到清洗的目的，这种方法的清洗效果与工件的环境压力、在真空中保留时间的长短、加热温度、污染物的类型及工件材料有关。其原理是加热工件．促使其表面吸附的水分子和各种碳氢化合物分子的解吸作用增强。解吸增强的程度与温度有关。在超高真空下，为了得到原子级清洁表面，加热温度必高于450度才行．加热清洗方法特别有效。但有时，这种处理方法也会产生***。由于加热的结果，可能发生某些碳氢化合物聚合成较大的团粒，并同时分解成碳渣

二．紫外线辐照清洗

利用紫外辐照来分解表面上的碳氢化合物。例如，在空气中照射15h就可产生清洁的玻璃表面。如果把适当预清洗的表面放在一个产生臭氧的紫外线源中．要不了几分钟就可以形成清洁表面（工艺清洁)。这表明臭氧的存在增加了清洁速率。其清洗机理是：在紫外线照射下，污物分子受激并离解，而臭氧的生成和存在产生高活性的原子态氧。受激的污物分子和由污物离解产生的自由基与原子态氧作用．形成较简单易挥发分子．如H203、CO2和N2．其反应速率随温度的增加而增加．

电子束钢带真空镀膜机有许多长处有哪些

1、可选择的镀膜资料多而不受资料熔点约束。因而，除了热镀锌中常见的镀锌、铝、锡以外，简直一切的金属资料都能够蒸镀，还可镀品种许多的金属氮化膜，金属氧化膜和金属炭化物及各种复合膜。这为开展新式带钢资料供给了很大的自由度。

2、镀膜资料利用率高，环境污染小。真空镀膜属干式镀膜，没有***液体、气体的发生。

3、带钢镀膜质量好，能取得均匀、滑润且极薄的镀膜，镀膜纯度高，耐蚀性和附着力好。钢带镀膜前可经电子束预热外表活化，镀膜纯度高，没有中心硬脆的合金层，能够一次冲压成型，甚至能够卷成直经很小的管而不掉落镀层。

4、技能灵敏，改动品种方便，能够依据商品请求灵敏地完成在钢带上镀单面、双面、单层、多层，能够一同镀两种资料到达镀混合膜。镀膜厚度易于操控，并且能够镀制超薄膜。

电子束光学镀膜机有哪些特点

在玻璃/PMMA/PC基片上形成高精度光学多层薄膜的精密真空镀膜机。将满足客户需求的多种元件组合在一起，可以形成品质更加优良的薄膜。

基片伞架采用了每分钟可转60转的中心旋转方式(公转)，减少产生振动和颗粒，使基片能够稳定旋转。

采用坩埚上没有极片的电子束加热方式(2台电子枪，10kW型)作为蒸发源，可以稳定地形成多层膜。

采用本公司独有的比率控制法和多点在线监控，可以形成高精度且稳定的光学多层膜。

可利用操作性良好的升降机来取出基片伞架。