真空PVD镀膜基本步骤

1、前处理工艺：褪膜、喷砂、抛光、钝化、清洗、装夹。

2、镀膜工艺：抽真空、加热烘烤、漏率测试、轰击清洗、镀膜、冷却出炉。

3、后处理工艺：清洗：确保镀膜前产品表面的清洁，越新鲜的表面，越能保证镀膜质量。抽真空：将真空室内的残余气体抽走。加热烘烤：炉体和工件同时加热，加速残余气体的释放。压升率测试：测试炉体的漏气率和放气率。轰击清洗：去除工件表面的杂志，露出新鲜表面。镀膜：沉积膜层。冷却：避免工件氧化变色。

镀膜设备的镀膜方式及常会遇到的问题

镀膜设备就是在高真空状态下通过高温将金属铝熔化蒸发，使铝的蒸汽沉淀堆积到塑料薄膜表面上，从而使塑料薄膜表面具有金属光泽的设备。真空镀膜技术作为一种产生特定膜层的技术，在现实生产生活中有着广泛的应用。

镀膜设备的镀膜方式：离子镀，蒸发镀，溅射镀

(1)镀膜设备的特点：成膜速度快0.1-50um/min，设备比较简单，操作容易;制得薄膜纯度高;薄膜生长机理较简单。

(2)缺点：薄膜附着力较小，结晶不够完善，工艺重复性不够好。

镀膜设备镀出的产品掉膜是怎么回事?

一。产品表面洁净度不够，离子源清洗Ar气放大时间长点。

二。清洗是否有加了清洗剂，或者更换了清洗剂，建议用纯水先试一下。

三。工艺参数是否有变动在膜厚和电流上可以做点调整。

真空泵，隔膜泵机械密封的安装与使用要求

1、机械密封对机器精度的要求：（以真空泵的机械密封为例）

（1）安装机械密封部位的轴（或轴套）的径向跳动公差不超过0.04～0.06mm.

（2）转子轴向窜动不超过0.3mm.

（3）密封腔体与密封端盖结合的***端面对轴（或轴套）表面的跳动公差不超过0.04～0.06mm.

2、密封件的确认：

（1）确认所安装的密封是否与要求的型号一致。

（2）安装前要仔细地与总装图对照，零件数量是否齐全。

（3）采用并圈弹簧传动的机械密封，其弹簧有左、右旋之分，须按转轴的旋向来选择。