真空镀膜设备作业时的应急预案,你懂多少?

首先设备工作一段时间，需要清理打扫，一般50到70炉次，需清理打扫，把粉尘清出炉外，然后空炉工作一次。工作的方式是先抽空为真空度高于10-2Pa时加热，加热温度一般高于正常使用温度的20℃。在高炉温时保温一个小时以上，然后自然冷却。这样使设备内部空间保持清洁。然后应该先涂少量真空泵油对旋转部件的润滑表面。请注意清洁，非铁，沙子和灰尘进入真空泵，***要接触良好。真空泵的安装应转动轻松，无凹凸不平和堵塞现象严重。真空镀膜设备所用充气气瓶需更换时，拆掉稳压阀，换上一瓶新气，一定要注意安装时不许漏气。在换上新气瓶后，在工件没加热前，应在抽空过程中对炉内充气，以便在换气瓶过程中造成的管路内存有的大气抽出，使充气管路保持清洁。正常工作时，如果发现设备突然漏气，如马上能找到泄，须用真空封泥把泄封住，待工作完毕后，再做处理。如不能确定***处，则应立即停止工作，然后检修。

我们经常有时候会碰到机器在运行的时候，碰到高温时断水、断电，这是让人头疼的事情。因此用户好在设备安装时建有备用水箱或者连有自来水管。设备在高温时断水、断电‘此时，泵、阀门均处于关闭状态，操作人员应马上接通备用水或自来水，对设备进行水冷，如不能很快来电，还应打开充放气系统的手动充气阀，对设备进行充气保护，充气压力为-0.02MPa左右。然后，把控制柜上的所有按钮关至“关”的位置。同事用湿毛巾搭在电极引出接口处，定期更换，以免电极接口过热，造成密封圈损坏。

PVD超硬质涂层（工模具）真空镀膜机平板智能显示器的真空镀膜技术

随着科技的发展，计算机、电视机、手机、办公室自动化设备等，对平板显示器件的需求急剧增长，极大的促进了各类平板显示器件的发展。由于平板显示器的兴起，催生起更多真空镀膜技术的发展，今天我们就来谈谈真空镀膜设备在平板显示中的发展和应用。

市面上有很多生产平板显示器的各类型厂商，都会用到真空镀膜技术，其实生产的ITO膜镀膜生产线设备是在优质浮法玻璃上采用真空磁控溅射技术，孪生阴极，中频溅射技术，并配以的控制系统，镀制SO2/ITO膜层，生产过程全部自动，连续进行。

如何提高为了提高机器的镀层厚度的均匀性

为了提高机器的镀层厚度的均匀性，真空室内的镀件夹具有行星机构或自转加公转的运动装置，如用行星运动方式，这种运动方式成膜均匀性好，台阶覆盖性能良好，镀件装载量大，可以充分利用真空镀膜室的有效空间，是目前经常采用的运动方式。为了提高抽气速率，可在机械泵和扩散泵之间加机械增压泵。因此，排气系统既要求在较短的时间内获得低气压以保证快速的工作循环。