真空镀膜机工作的特点

真空镀膜机工作的特点是溅射率高、基片温升低、膜-基结合力好、装置性能稳定中频设备必须加冷却水进行冷却，原因是它的频率高电流大。电流在导体流动时有一个集肤效应，电荷会聚集在电导有表面积，这样会使电导发热，所以采用中孔管做导体中间加水冷却。

冷水机能控制真空镀膜机的温度，以保证镀件的高质量。如果不配置冷水机就不能使真空镀膜机达到高精度、***率控制温度的目的，因为自然水和水塔散热都不可避免地受到自然气温的影响，而且此方式控制是极不稳定的。

真空镀膜机使用前的准备工作

在使用真空镀膜机前，必须详阅使用说明书，熟悉整机结构原理，各部件的作用和操作方法。

1、确认水、电、气均已安装无误后，先试运行滑阀泵、罗茨泵，其转动方向要与各泵规定的方向一致。

2、检查设备的各个动力传动装置运转是否正常。

3、检查卷绕车的开动情况，检查卷绕车与真空罐对接的密封是否可靠，检查装于导轨上的各个行程开关是否工作正常，检查履带的安放及***情况是否完好。

4、按照从低真空到高真空的次序，逐级调试真空系统，检查各个环节的密封是否可靠，各个阀门开闭是否灵活，霍尔开关位置是否正确，各真空泵均应运转平稳、无异常振动、无异常噪音。

电子束光学镀膜机有哪些特点

在玻璃/PMMA/PC基片上形成高精度光学多层薄膜的精密真空镀膜机。将满足客户需求的多种元件组合在一起，可以形成品质更加优良的薄膜。

基片伞架采用了每分钟可转60转的中心旋转方式(公转)，减少产生振动和颗粒，使基片能够稳定旋转。

采用坩埚上没有极片的电子束加热方式(2台电子枪，10kW型)作为蒸发源，可以稳定地形成多层膜。

采用本公司独有的比率控制法和多点在线监控，可以形成高精度且稳定的光学多层膜。

可利用操作性良好的升降机来取出基片伞架。