真空镀膜机实验专用设备玻璃制扩散泵真空系统

真空泵按工作条件的不同分为两类：能够在大气压下工作的真空泵称为初级泵（如机械泵），用来产生预备真空，需要在预备条件下才能工作的真空泵称为次级泵（玻璃扩散泵），次级泵用来进一步提高真空度,获得高真空。

扩散泵的液体油有多种,目前广泛使用的是3号扩散泵油（20℃时饱和汽压为1.3×10-6Pa）沸点375℃和275号硅油（20℃时饱和汽压为1.3×10-8Pa）沸点430℃。扩散泵开始工作之前,必须先开动机械泵抽气，达到预备真空时，便可以使用电炉对扩散泵蒸发器中的油进行加热,约25～35min的时间,便可观察到,扩散泵油开始沸腾。当硅油加热至沸腾时430℃,便产生大量油蒸汽,蒸汽经过导管由各级喷嘴高速喷出。

真空电镀设备膜厚的不均匀问题

无论监控仪精度怎样，它也只能控制真空室里单点位置的膜厚，一般来讲是工件架的中间位置。如果真空电镀设备此位置的膜厚不是均匀的，那么远离中心位置的基片就无法得到均匀的厚度。虽然屏蔽罩能消除表现为长期的不均匀性，但有些膜厚度的变化是由蒸发源的不稳定或膜材的不同表现而引起的，所以几乎是不可能消除的，但对真空室的结构和蒸发源的恰当选择可以使这些影响化。

在过去几年中，越来越多的用户要求镀膜系统制造厂家提供高性能的小规格、简便型光学镀膜系统，同时，用户对性能的要求不仅没有降低，反而有所提高，特别是在薄膜密度和保证吸水后光谱变化化等方面。

现在，系统的平均尺寸规格已经在降低，而应用小规格设备进行光学镀膜的生产也已经转变成为纯技术问题。因此，选用现代化光学镀膜系统的关键取决于对以下因素的认真考虑：对镀膜产品的预期性能，基片的尺寸大小和物理特性以及保证高度一致性工艺所必需的所有技术因素。

卷绕式真空镀膜机工作原理

现在的真空镀膜机做得非常***性了，有针对车灯产品研发的，有针对工模具硬质膜研发的，等等，现在还有一种是针对塑料膜研发的，卷绕式真空镀膜机。大家也知道，像包装纸，塑料袋这些产品，要在其上面镀膜，还要保证膜层的均匀性，又不会使包装约塑料袋等产生皱折，于是就研发出了卷绕式真空镀膜机，它通过把产品固定并通过卷绕的方法，在产品上镀膜，镀出来的膜层只有0.01到0.2μm的厚度而已。商标印刷机在真空镀膜机的真空室中分为上下两个部分，而下面的又分为左右两个部分，在下面的左右两边底下都放置着一个蒸发源，在蒸发源上放这靶材材料，当启动蒸发源后通过电阻加热把靶材蒸发上升到产品上沉积成膜，另外在产品不成膜的另一边放置辉光放电发生器，产生放电气体，使产品不会产生皱折。对于那些容易皱折的产品的镀膜，卷绕式真空镀膜机确实是一种非常好的设计。

卷绕式真空镀膜机具有运行平稳、收放镀膜平齐、膜层均匀、生产周期短、能耗低、操作维护方便、性能稳定等特点。卷绕系统采用高精度直流或交流变频调速，具有运行平稳、速度高、对原卷材不划伤、不折皱，收卷端面整齐等特点；张力控制采用进口数字张力控制系统，具有张力、线速度恒定，运作快速的特点；强劲***的抽真空系统，配备节能维持泵。