PVD真空镀膜设备蒸发系统工作方式
PVD真空镀膜设备蒸发系统主要指成膜装置部分,PVD镀膜机的成膜装置很多的,PVD镀膜有电阻加热、射频溅射、离子镀等多种方式。PVD镀膜电阻蒸发根据其结构和工作原理是目前为止应用多的,PVD镀膜***广泛的蒸发方式,PVD镀膜也是应用时间长的蒸发方式。
下面介绍PVD镀膜电阻加热和电子枪蒸发的方式:
PVD镀膜将钨片做成船状,然后安装在两个电极中间,再热传导给PVD镀膜材料,当钨舟的热量高于PVD镀膜材料熔点的时候,材料就升华或者蒸发了,PVD镀膜由于操作方便,结构简单,成本低廉。PVD镀膜电子枪蒸发是到目前为止应用多的一种蒸发方式,PVD镀膜可以蒸发任何一种PVD镀膜料。
将镀膜材料放在坩埚里面,PVD镀膜将蒸发源制作成灯丝形状,PVD镀膜由于灯丝的材料是钨,形成了一股电子束,PVD镀膜由于电子束温度非常高,PVD镀膜可以熔化任何镀膜***凝结下来。
至成真空十多年来***从事各种真空镀膜应用设备制造,多年来致力于研发和生产真空镀膜机,以新技术不断制造出满足市场需要的真空电镀设备,为客户提供定制化的工艺解决方案和机器。
光学真空镀膜设备该如何进行***
光学真空镀膜设备主要由真空镀膜机室、真空抽气机组限及电柜(控制电柜、电子枪电枢)组成,其广泛应用于微电子、光学成膜、民用装饰、表面工程等领域。光学真空镀膜设备在防止油污染和缩短工作周期等方面具有***的性能。
光学真空镀膜设备工作原理是在高真空状态下、利用电子束对金属或非金属材料加热到适当的温度,材料受热后蒸发成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸发源至被蒸发基片距离大,蒸发出来的蒸汽分子向四处直射,碰到基片就沉积在基片表面形成腊层。
双色真空镀膜机PVD技术的应用范围及优缺点
很多人对真空镀膜机PVD技术的了解不是特别全,也不知***体是应用到哪些行业,以及它在实际运用过程有哪些优缺点?至成真空小编现在详细和大家介绍一下:
真空镀膜机PVD技术其应用范围是:
1)碳钢、合金钢、不锈钢及钛合金等金属材料;
2)金属材料的表面硬度至少需要在HV170以上。
真空镀膜机PVD技术其优点是:
与传统磁控溅射单色PVD技术相比,双色PVD工艺更为复杂,流程更为繁杂,生产难度高,但外观效果***,两种颜色的表面硬度都在HV600以上。传统磁控溅射单色PVD技术要在实现双色效果,采取的工艺措施是在整体PVD单色的基础上把需要实现另一种颜色的区域激光镭雕掉或者磨掉。新加工出来的区域就只能表现金属的本色,表面硬度也就是金属本身的表面硬度---HV200左右(而PVD后的表面硬度为HV600以上)。
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