真空镀膜机的真空室设计方法

真空镀膜技术是在真空条件下采用物理或者化学方法，使物体表面获取所需膜体，真空镀膜技术根据其采用方法的不同科分成蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积以及分子束外延等，这次分析的镀膜设备采用的是磁控溅射镀膜。

真空室是真空设备的一个主要组成部位，真空镀膜设备真空室设计主要考虑的就是密封性和可靠性，结构必须要合理，真空设备的材料生产都是在真空室内进行的，材料对真空度的影响要小，设计不能马虎，要注意一些问题。

使用磁控溅射的真空镀膜机一般采用的是圆筒主体结构，结构上要保证快速抽空，因气袋会缓慢的放气，因此要避免出现隔离孔穴，真空系统上端会加装磁控溅射枪，为了使真空室和元件有足够的强度，保证在外部和内部的作用力下不产生形状的变化，厚度需要足够。

焊接是真空室制造中的一道关键工序，保证焊接之后的真空室不会产生漏气现象，须合理设计焊接结构，提高焊接质量，处在超高真空的内壁粗糙度要抛光使室外室内表面很光洁，须特别注意的是需做好防止生锈的措施。

真空镀膜设备的正常工作条件

1.环境温度：10~30℃

2.相对湿度：不大于70%

3.冷却水进水温度：不高于25℃

4.冷却水质：城市自来水或质量相当的水

5.供电电压：380V，三相50Hz或220V，单相50Hz，电压波动范围342~399V或198V~231V，频率波动范围49~51Hz；

6.设备所需的压缩空气、液氮、冷热水等压力、温度、消耗量均应在产品使用说明书上写明。

7.设备周围环境整洁、空气清洁，不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。

真空镀膜机使用前要检查什么

1、主机齿轮箱、牵引减速箱应该时常加油，更换齿轮油。

2、新机请在使用10天左右更换新齿轮油，以确保各转动部位正常运转。

3、注意加油，防止卡住和过热损坏。

4、还应检查各连接部位的固紧情况，防止罗栓松动。

5、泡管中的压缩空气应保持适量。

6、启动主电机时，应先启动电机后慢慢加速；关闭主电机，应先减速后再关机。

至成真空科技有限至成真空科技，在安装车灯镀膜机的时候应该注意调整好挤出机机头中心线和牵引辊中心保持水平垂直，收卷时由于收卷外径逐渐增大车灯镀膜机请注意牵引速度与收卷速度的配合，请及时调整。主机开启后，密切注意主机运行情况。