真空镀膜设备真空泵的选择
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对Ar有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度,选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg,能达到1mmHg较好。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
维修真空镀膜机一定要按照步骤操作
日常生活中,我们使用真空镀膜设备都会维护,但是很多人维护的方法都很不对,也不按照步骤来拆卸和安装真空镀膜机,今天我们就来介绍下真空镀膜机的维护步骤吧:
首先我们要保证镀膜机与地面充分接触,扩散泵和油增压泵加热前必须接通冷却水并开维持泵。扩散泵和增压泵停止工作,维持泵半小时后才能关,1小时后断水,但泵内未冷却至80℃以下时,不得切断冷却水,以防止泵芯烧毁。
扩散泵和增压泵各留有备用水出口,若镀膜机故障或停电必须开备用出口让其冷却扩散泵和增压泵,镀膜工作前必须接通全部设备冷却进水,以防止电极和基体材料烧毁。扩散泵和油增压泵在加热情况下,切勿与大气接触,以免泵油氧化,定期检查和调整水流继电器,检查断水报警是否正常,保证设备冷却水供水畅通,在拆装镀膜机各机件时,应注意保护各密封工作面不受机械划伤或损伤,以保证镀膜设备密封性能可靠。
设备各传动转轴真空密封处均采用“骨架式油封”密封形式,骨架式油封内间均充以饱和油蒸汽压很低的真空油脂和扩散泵油。使用一段时间即会损耗,必须以相同的真空油脂和扩散泵油充入,决不能用其他油品代替。
真空镀膜机的特点
真空电镀即真空蒸发镀膜﹐其原理是在高度真空条件下(1.3×10-2~1.3×10-1Pa)使金属铝片受热蒸发并附于(塑料)工件表面﹐形成一层金属膜的方法﹒
真空镀膜设备真空电镀机真空电镀的特点:
1、真空镀膜所获得的金属膜层很薄(一般为0.01~0.1um),能够严格生产出啤件表面的形状
2、工作电压不是很高(200V)﹐操作方便﹐但设备较昂贵﹒
3、蒸镀锅瓶容积小﹐电镀件出数少﹐生产效率较低﹒
4、只限于比钨丝熔点低的金属(如铝﹑银﹑铜﹑金等)镀饰﹒
5、对镀件表面质量要求较高﹐通常电镀前需打底油来弥补工件表面缺陷﹒
6、真空镀膜可以镀多种塑料如﹕ABS﹑PE﹑PP﹑PVC﹑PA﹑PC﹑PMMA等﹒
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