国内真空镀膜机械的发展
我国镀膜市场一直在扩大需求,行业的高速发展同时也带动真空设备行业的发展速度。每年我国都需要进口大量的镀膜真空设备,这些设备工艺技术比较高,可靠性强,价钱也非常之高,不可否认的是这些设备大大提高了我国部分的镀膜企业的生产水平,使之达到发达***水平;
国内的真空设备也相对引进***技术取得了巨大进步,真空镀膜设备已经达到较高水准,完全能够满足一般企业的需求,部分实力厂家产品更是销往***,譬如汇成真空。
整个镀膜行业被物理和化学镀膜占据,他们的发展左右着我国整个镀膜行业的发展,而随着环保的提倡,化学镀膜渐渐减少,环保物理镀膜占据更多江山,镀膜真空设备成为了这个行业发展的指标,政策对环保设备的大力支持未来真空设备的发展将更加广阔。
真空镀膜机工件除气的必要性和真空镀膜机分类介绍
真空状态是支持真空镀膜机运作的环境,特别是需要高真空度的设备,通常我们需要达到高真空度,抽气系统的作用是功不可没的,但除了抽气系统外,在真空镀膜设备运行的过程中,还有一点就是,工件的除气。
有些工件它本身内部存在着很多的气体、水分等,这些物质都会随着设备加热时被排放到真空室中,降低了真空度,更甚者,有些气体带***性成分,直接损害到真空室内部机械结构,造成设备不能正常运作。另外,正在镀膜过程中,由于工件内气体加热膨胀,容易使已经镀上的膜层裂开,当然这个情况出现的机率视工件本身物理性质有关,像塑料等容易膨胀的,机率就比较高,像金属等硬质的,机率就比较低,但也不能忽视,因此工件的除气是非常必要的。
通常我们使用的工件除气方法是烘烤,通过加热把工件内的气体、水分排出,在镀膜前,抽气的同时,对工件进行加热,当工件内水分和气体由于加热而放出后,随着真空室内的气体一起被真空泵抽出。
针对不同的工件采取不一样的除气措施,有效控制工件内部气体与水分排放,提高镀膜的稳定性和均匀性。真空镀膜机分类和适用范围真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
维修真空镀膜机一定要按照步骤操作
日常生活中,我们使用真空镀膜设备都会维护,但是很多人维护的方法都很不对,也不按照步骤来拆卸和安装真空镀膜机,今天我们就来介绍下真空镀膜机的维护步骤吧:
首先我们要保证镀膜机与地面充分接触,扩散泵和油增压泵加热前必须接通冷却水并开维持泵。扩散泵和增压泵停止工作,维持泵半小时后才能关,1小时后断水,但泵内未冷却至80℃以下时,不得切断冷却水,以防止泵芯烧毁。
扩散泵和增压泵各留有备用水出口,若镀膜机故障或停电必须开备用出口让其冷却扩散泵和增压泵,镀膜工作前必须接通全部设备冷却进水,以防止电极和基体材料烧毁。扩散泵和油增压泵在加热情况下,切勿与大气接触,以免泵油氧化,定期检查和调整水流继电器,检查断水报警是否正常,保证设备冷却水供水畅通,在拆装镀膜机各机件时,应注意保护各密封工作面不受机械划伤或损伤,以保证镀膜设备密封性能可靠。
设备各传动转轴真空密封处均采用“骨架式油封”密封形式,骨架式油封内间均充以饱和油蒸汽压很低的真空油脂和扩散泵油。使用一段时间即会损耗,必须以相同的真空油脂和扩散泵油充入,决不能用其他油品代替。
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