如何***镀膜机才能寿命更长？

真空镀膜机就是：蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且***终沉积在基片表面，经历成膜过程，***终形成薄膜。

那么在使用的同时，我们怎么去***他，爱护它，从而让他寿命更长呢？

一般扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，真空镀膜设备便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。

方法是：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，真空镀膜设备无法进入工作状态。

方法是：用NaOH饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（注意***皮肤不可以直接接触NaOH溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。

当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。

方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。

真空镀膜机的维修方法介绍

一、当正在镀膜时真空度突然下降：

1、蒸发源水路胶圈损环（更换胶圈）

2、坩埚被打穿（更换坩埚）

3、高压电极密封处被击穿（更换胶圈）

4、工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈）

5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）

6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）

7、机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常）

8、烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈）

9、挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）

10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）

二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、***真空、极限真空、保真空：

1、蒸发室有很多粉尘（应清冼）

2、扩散泵很久未换油（应清冼换油）

3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低（应清冼换油）

4、各动密封胶圈损坏（更换胶圈）

5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化（更换胶圈）

6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏（更换胶圈）

7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象（重新压紧）

8、高低预阀是否密封可靠（注油）

真空镀膜机的检漏方法

真空镀膜机厂家介绍查看漏气状况是确保真空镀膜机真空度的一项查看办法，简称检漏，真空度的凹凸是直接影响到镀膜作用的，所以检漏是必不可少的。

通常真空室内漏气都是从室壁上的一些小孔或部件之前的衔接位细缝中发生，当抽气系统抽气后使真空室内压强降低，外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内，形成真空度降低。真空镀膜机厂家介绍在检漏的过程中，需求注意一些问题，才能把检漏作业做好。