真空镀膜机蒸发系统介绍

真空镀膜机蒸发系统主要指成膜装置部分，镀膜机器的成膜装置很多，有电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等多种方式，鄙人就电阻加热和电子枪蒸发两种方式作介绍，因为此两种方式我应用的比较多。

电阻蒸发根据其结构和工作原理是目前为止应用多，广泛的蒸发方式，也是应用时间长的蒸发方式。它的工作方式是，将钨片做成船状，然后安装在两个电极中间，在钨舟***加上***，再缓缓给电极通电，电流通过钨舟，钨舟通电发热，这些低电压，大电流使高熔点的钨舟产生热量，再热传导给镀膜材料，当钨舟的热量高于镀膜材料熔点的时候，材料就升华或者蒸发了，此方法由于操作方便，结构简单，成本低廉，故被很多设备应用，但是其蒸发出来的薄膜由于致密性不佳，加上很多材料无法采用这种方式蒸镀，所以其有一定局限性。钨舟蒸发镀膜材料的时候，材料的熔点必须小于钨舟的熔点，否则就没有办法进行。

镀膜机在日常使用中应该注意哪些***？

1例行***生产设备中发现了一个不好的迹象，立即解决。镀膜机不要认为这油定期更换，等待维修时间，转子泵严重磨损可能。例如，轴承的一些卡工件转架，更换轴承，然后等到它完全打破了，可真是个大问题，镀膜机可能会导致转架电机烧毁等。

2定期检修，镀膜机有人会问一个日常的维护也需要定期维护？事实上，每个设备都有它自己的生命，如2年油扩散泵的使用寿命，提前更换，镀膜机在生产阶段没有问题。

3不要盲目拆卸。镀膜机问题的真空部分是困难的，而许多公司不泄漏检测器，为什么不去真空可能有以下几点：

1也许是泄漏率，也就是我们常说的泄漏；

2也许是真空机组的抽气能力是不够的，污染或氧化；

3可能是一个真空室太脏空气；镀膜机漏水

4真空室管道泄漏；或是有可能。的问题，首先是判断，拆除吗？将漏水？阀门的开启？根据现象判断，然后根据判断发现问题，可以取得事半功倍的效果。

5养成良好的卫生习惯。镀膜机除尘设备及周边设备，石油设备本身是相当大的。灰尘会产生静电，对电子元器件的损坏。油能使导线管淬火裂纹，导致一些意想不到的问题。

真空镀膜机使用前的准备工作

在使用真空镀膜机前，必须详阅使用说明书，熟悉整机结构原理，各部件的作用和操作方法。

1、确认水、电、气均已安装无误后，先试运行滑阀泵、罗茨泵，其转动方向要与各泵规定的方向一致。

2、检查设备的各个动力传动装置运转是否正常。

3、检查卷绕车的开动情况，检查卷绕车与真空罐对接的密封是否可靠，检查装于导轨上的各个行程开关是否工作正常，检查履带的安放及***情况是否完好。

4、按照从低真空到高真空的次序，逐级调试真空系统，检查各个环节的密封是否可靠，各个阀门开闭是否灵活，霍尔开关位置是否正确，各真空泵均应运转平稳、无异常振动、无异常噪音。