磁控溅射镀膜生产线系统设计系统设计的特点

1、生产线采用PLC全过程控制，并配有彩色显示屏，显示镀膜工艺过程参数等；

2、实时动画形式显示监控磁控镀膜生产线的工艺流程。磁控镀膜生产线的设备是密封的，生产时看不见玻璃在真空室里面的运行情况，通过通用组态式监控系统形象的动画功能来实时反应玻璃在密封真空室里的运行情况，让现场操作工对整个生产流程了若指掌。

3、系统功能丰富：包括手/自动模式选择、工艺方案选择、数据检测记录、故障报警记录、自动诊断保护、操作权限限定等等。系统组成结构图上位监控系统采用的是通用组态式监控系统，其与下位控制系统的三菱FX2NPLC通信方式采用RS-232串行通讯方式。LG变频器及真空泵、抽气阀等都是由三菱FX2N-PLC来控制，而PLC通过一个扩展的232BD模块与计算机相连。软件系统完成的主要功能

1、以实时动画形式监控磁控镀膜生产线的工艺流程，监控电机、真空泵、抽气阀等部件的运行状态；

2、记录设备运行过程中产生的实时报警信息；

3、PLC输入、输出点实时监控。总结该系统现场运行情况良好，数据读写速率快，报警功能、设备动作控制等各项功能均达到设计要求，且快速、准确无误，主画面上的动画过程与现场的生产流程配合较好，使用该系统可以非常方便的监控整条生产线的运行。“操作简单，画面精美，软件与设备的通讯性能优越，大大提升系统形象”通用组态式监控系统软件突出性能给予的评价。

维修真空镀膜机一定要按照步骤操作

日常生活中，我们使用真空镀膜设备都会维护，但是很多人维护的方法都很不对，也不按照步骤来拆卸和安装真空镀膜机，今天我们就来介绍下真空镀膜机的维护步骤吧：

首先我们要保证镀膜机与地面充分接触，扩散泵和油增压泵加热前必须接通冷却水并开维持泵。扩散泵和增压泵停止工作，维持泵半小时后才能关，1小时后断水，但泵内未冷却至80℃以下时，不得切断冷却水，以防止泵芯烧毁。

扩散泵和增压泵各留有备用水出口，若镀膜机故障或停电必须开备用出口让其冷却扩散泵和增压泵，镀膜工作前必须接通全部设备冷却进水，以防止电极和基体材料烧毁。扩散泵和油增压泵在加热情况下，切勿与大气接触，以免泵油氧化，定期检查和调整水流继电器，检查断水报警是否正常，保证设备冷却水供水畅通，在拆装镀膜机各机件时，应注意保护各密封工作面不受机械划伤或损伤，以保证镀膜设备密封性能可靠。

设备各传动转轴真空密封处均采用“骨架式油封”密封形式，骨架式油封内间均充以饱和油蒸汽压很低的真空油脂和扩散泵油。使用一段时间即会损耗，必须以相同的真空油脂和扩散泵油充入，决不能用其他油品代替。

真空镀膜机的真空室设计方法

真空镀膜技术是在真空条件下采用物理或者化学方法，使物体表面获取所需膜体，真空镀膜技术根据其采用方法的不同科分成蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积以及分子束外延等，这次分析的镀膜设备采用的是磁控溅射镀膜。

真空室是真空设备的一个主要组成部位，真空镀膜设备真空室设计主要考虑的就是密封性和可靠性，结构必须要合理，真空设备的材料生产都是在真空室内进行的，材料对真空度的影响要小，设计不能马虎，要注意一些问题。

使用磁控溅射的真空镀膜机一般采用的是圆筒主体结构，结构上要保证快速抽空，因气袋会缓慢的放气，因此要避免出现隔离孔穴，真空系统上端会加装磁控溅射枪，为了使真空室和元件有足够的强度，保证在外部和内部的作用力下不产生形状的变化，厚度需要足够。

焊接是真空室制造中的一道关键工序，保证焊接之后的真空室不会产生漏气现象，须合理设计焊接结构，提高焊接质量，处在超高真空的内壁粗糙度要抛光使室外室内表面很光洁，须特别注意的是需做好防止生锈的措施。