电弧离子镀膜机-中山离子镀膜机-至成镀膜机生产厂家
作者:至成真空科技2019/12/13 22:34:18








新型磁控溅射真空镀膜机镀膜工艺


磁控溅射真空镀膜机镀膜工艺在镀膜行业无处不在,只要说到镀膜技术,大家都会立刻想到磁控镀膜工艺,磁控溅射真空镀膜机也受到了各大厂家的追捧,磁控溅射镀膜工艺更是受到大家的喜爱,今天至成小编为大家介绍一下磁控溅射镀膜机镀膜工艺。

其实从一般的金属靶材溅射、反应溅射、偏压溅射等,伴随着工业需求及新型磁控溅射技术的出现,低压溅射、高速沉积、自支撑溅射沉积、多重表面工程以及脉冲溅射等新型工艺成为目前该领域的发展趋势。低压溅射的关键问题是在低压(一般是指lt;011Pa)下,电子与气体原子的碰撞几率降低,在常规磁控溅射技术中不足以维持靶材表面的辉光放电,导致溅射沉积无法继续进行。通过优化磁场设计,使得电子空间运动距离延长,非平衡磁控溅射技术可以实现在10-2Pa等级的真空下进行溅射沉积。另外,通过外加电磁场约束电子运动可以实现更低压强下的溅射沉积。进行高速沉积可以极大的提高工作效率、减少工作气体消耗以及获得新型膜层。实现高速沉积主要需要解决的问题是在提高靶材电流密度的同时,不会产生弧光放电;由于功率密度的提高,靶材、衬底的冷却能力需要相应提高等。目前,已经实现了靶材功率密度超过100W/cm2,沉积速率超过1μm/min。



离子真空镀膜机镀膜工艺及镀膜产品表面防腐方法


不锈钢基材通常会用抛光、拉丝、喷砂、化学蚀刻、激光雕刻、数控机床雕刻等作表面美工处理,有的还用激光焊接,水法电镀镍铬层等。那么离子真空镀膜机启到了很关键的作用,今天至成小编为大家讲解一下离子真空镀膜机镀膜工艺及镀膜产品表面防腐方法。

其实大家都知道,以上介绍几种不锈钢基材表面处理方法,各自有各自的优势和劣势。如:抛光作业会在工件上残留难以去除的硬化了的抛光蜡;尼龙轮拉丝在拉丝沟上会残留透明的不易发现的高分子化合物;砂轮拉丝可能残留磨粒和粘结剂,或因摩擦过热产生氧化皮;喷砂会有陶瓷砂粒﹑玻璃砂粒、氧化铝砂粒残留镶嵌在表面上;化学蚀刻会有腐蚀产物残留在腐蚀坑内,或在其它非腐蚀表面上残留用于防腐蚀的保护物质;激光雕刻处理会产生高温氧化皮和烧蚀基体碎片残留;数控机床雕刻会有高温氧化皮和切削油残留,还会有基材碎片被压入基体上;激光焊接也会导致高温氧化等;水法电镀铬层会生成难以去除的复杂氧化物,这些处理引起的污染不彻底清除会导致离子镀过程打火、镀层假附着、掉膜、颜色不均等不良。


在离子真空镀膜机镀产品中美工处理方式往往不是单一的,而是多种作业组合,这更增加了镀前清洗的困难。采用传统的超声去油除蜡的方法是不能胜任的,必须调整清洗工艺,对不同的污染,可选择机械清除、气相清洗﹑真空加热后再清洗、阴极电解﹑阳极电解、或采用针对性的***清洗剂等等。这些综合措施可取得较好的效果,但对有些污染仍未找到理想的解决办法。新近等离子体抛光方法应用到镀前清洗是值得关注的技术,该技术在某些镀层的褪镀取得良好效果。



光学真空镀膜机薄膜根据其用途分类、特性与应用可分为哪些膜


光学真空镀膜机薄膜根据其用途分类、特性与应用可分为:反射膜、增透膜/减反射膜、滤光片、偏光片/偏光膜、补偿膜/相位差板、配向膜、扩散膜/片、增亮膜/棱镜片/聚光片、遮光膜/黑白胶等。相关衍生的种类有光学级保护膜、窗膜等。

光学真空镀膜机光学薄膜的特点是:表面光滑,膜层之间的界面呈几何分割;膜层的折射率在界面上可以发生跃变,但在膜层内是连续的;可以是透明介质,也可以是吸收介质;可以是法向均匀的,也可以是法向不均匀的。实际应用的薄膜要比理想薄膜复杂得多。这是因为:制备时,薄膜的光学性质和物理性质偏离大块材料,起表面和界面是粗糙的,从而导致光束的漫反射;膜层之间的相互渗透形成扩散界面;由于膜层的生长、结构、应力等原因,形成了薄膜的各种向异性;膜层具有复杂的时间效应。


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