磁控溅射镀膜生产线系统设计系统设计的特点

1、生产线采用PLC全过程控制，并配有彩色显示屏，显示镀膜工艺过程参数等；

2、实时动画形式显示监控磁控镀膜生产线的工艺流程。磁控镀膜生产线的设备是密封的，生产时看不见玻璃在真空室里面的运行情况，通过通用组态式监控系统形象的动画功能来实时反应玻璃在密封真空室里的运行情况，让现场操作工对整个生产流程了若指掌。

3、系统功能丰富：包括手/自动模式选择、工艺方案选择、数据检测记录、故障报警记录、自动诊断保护、操作权限限定等等。系统组成结构图上位监控系统采用的是通用组态式监控系统，其与下位控制系统的三菱FX2NPLC通信方式采用RS-232串行通讯方式。LG变频器及真空泵、抽气阀等都是由三菱FX2N-PLC来控制，而PLC通过一个扩展的232BD模块与计算机相连。软件系统完成的主要功能

1、以实时动画形式监控磁控镀膜生产线的工艺流程，监控电机、真空泵、抽气阀等部件的运行状态；

2、记录设备运行过程中产生的实时报警信息；

3、PLC输入、输出点实时监控。总结该系统现场运行情况良好，数据读写速率快，报警功能、设备动作控制等各项功能均达到设计要求，且快速、准确无误，主画面上的动画过程与现场的生产流程配合较好，使用该系统可以非常方便的监控整条生产线的运行。“操作简单，画面精美，软件与设备的通讯性能优越，大大提升系统形象”通用组态式监控系统软件突出性能给予的评价。

真空镀膜机原理和各部件分析

真空镀膜机是目前制作真空条件应用***为广泛的真空设备，一般用真空室、真空机组、电气控制柜三大部分组成，排气系统采用“扩散泵 机械泵 罗茨泵 低温冷阱 polycold”组成。至成真空科技***从事真空镀膜设备的研发与生产拥有经验丰富的技术团队及优质的***服务***为您解决设备在使用过程中遇到的任何问题。

真空主体——真空腔根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用多的有直径1、3M、0、9M、1、5M、1、8M等，腔体由不锈钢'target=_blankgt;不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。

二、辅助抽气系统：排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用“扩散泵 机械泵 罗茨泵 低温冷阱 polycold”组成。排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2、0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。

真空镀膜机镀前预处理和镀后处理方法

一、镀前预处理

镀前预处理的目的是为了得到干净新鲜的金属表面，为***后获得高质量镀层作准备，要进行脱脂、去锈蚀、去灰尘等工作。

步骤如下：

一：使表面粗糙度达到一定要求，可通过表面磨光、抛光等工艺方法来实现；

二：去油脱脂，可采用溶剂溶解以及化学、电化学等方法来实现；

三：除锈，可用机械、酸洗以及电化学方法除锈；

四：活化处理，一般在弱酸中侵蚀一定时间进行镀前活化处理。

二、镀后处理

1、钝化处理

所谓钝化处理是指在一定的溶液中进行化学处理，在镀层上形成一层坚实致密的、稳定性高的薄膜的表面处理方法.钝化使镀层耐蚀性大大提高并能增加表面光泽和抗污染能力。这种方法用途很广，镀Zn、Cu及Ag等后，都可进行钝化处理。

2、除氢处理

有些金属如锌，在电沉积过程中，除自身沉积出来外，还会析出一部分氢，这部分氢渗入镀层中，使镀件产生脆性，甚至断裂，称为氢脆。为了消除氢脆，往往在电镀后，使镀件在一定的温度下热处理数小时，称为除氢处理。