离子镀膜设备的操作规范是怎样的?
离子镀膜设备的操作规范是怎样的? 1、设备中的真空管道、静态密封零部件(法兰、密封圈等)的结构形式,应符合GB/T6070的规定。 2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管,分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时,应在测量口处安装电场屏蔽装置。 3、如果设备使用的主泵为扩散泵时,应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱 4、设备的镀膜室应设有观察窗,应设有挡板装置。观察窗应能观察到沉积源的工作情况以及其他关键部位。 5、离子镀沉积源的设计应尽可能提高镀膜过程中的离化率,提高镀膜材料的利用率,合理匹配沉积源的功率,合理布置沉积源在真空室体的位置。 6、合理布置加热装置,一般加热器结构布局应使被镀工件温升均匀一致。 7、工件架应与真空室体绝缘,工件架的设计应使工件膜层均匀。 8、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和离子轰击电源,离子轰击电源应具有***非正常放电装置,维持工作稳定。
真空镀膜设备的相关特性是什么呢?
真空镀膜设备的相关特性是什么呢? 1.真空镀膜设备沉积材料:可沉积铝、钛、锆等湿法电镀无法沉积的低电位金属,通以反应气体和合金靶材更是可以沉积从合金到陶瓷甚至是金刚石的涂层,而且可以根据需要设计涂层体系. 2.真空镀膜设备节约金属材料:由于真空涂层的附着力、致密度、硬度、耐腐蚀性能等相当优良,沉积的镀层可以远远小于常规湿法电镀镀层,达到节约的目的. 3.真空镀膜设备无环境污染:由于所有镀层材料都是在真空环境下通过等离子体沉积在工件表面,没有溶液污染,所以对环境的危害相当小。
真空镀膜设备如何正确的使用?
真空镀膜设备如何正确的使用? 在操作真空镀膜设备的时候一定要使用正确的方法,下面我们就来讲讲如何进行正确的操作吧! 机床的正常运行的情况下,启动机器,你必须首先打开水管,应始终注意在工作水压力。 同时,离子轰击和蒸发,应特别注意高压电线连接器,不能接触,以防。涂层中的电子枪,对铝的外围铃。铅玻璃观察窗玻璃,应戴上眼镜观察铅玻璃,防止X射线对***的。多层介质膜的涂层的沉积,应该安装通风除尘设备,及时排除***粉尘。保持可燃和***物质,在火灾。 酸洗装置应在通风装置上进行,并戴上橡胶手套。把零件到清洗槽内的酸或碱,要轻轻的,无碰撞和飞溅。此外,常用的酸洗槽盆应加盖。后,完成了这项工作,应切断水。 安全规范:真空系统,真空系统,高温真空泵油加系统的使用,真空镀膜机稍有不慎燃烧的***,所以在工作的过程中,必须严格操作过程中安装和操作规范,要慎重,热泵经验人是***的,旋转部件可能伤害人的***,所以要注意在生产过程中不可接近的增压泵和扩散泵,滑阀泵与罗茨泵的***前护罩必须是完整的,人不可近。 卷绕系统可能是***的伤害在操作过程中的人,所以在后掩蔽和清洁辊速度不太快,不超过30米/分钟,速度不超过10米/分钟。 真空镀膜设备在操作的时候一定要注意上面讲的这些方面,想要使机器能够延长使用寿命,除了正确的操作之外还有就是要好好进行保护。
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