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作者:兴之扬电子2020/9/17 3:49:38







兴之扬蚀刻电视304不锈钢网小编来给大家讲解干法蚀刻电浆形成之原理:

电浆的产生可藉由直流(DC)偏压或交流射频(RF)偏压下的电场形成,如图5-3所示,而在电浆中的电子来源通常有二:一为分子或原子解离后所产生的电子,另一则为离子撞击电极所产生的二次电子(SecondaryElectron),在直流(DC)电场下产生的电浆其电子源主要以二次电子为主,而交流射频(RF)电场下产生的电浆其电子源则以分子或原子解离后所产生的电子为主。

在电浆干法蚀刻中以直流方式产生辉光放电的缺点包含了:1)需要较高的功率消耗,也就是说产生的离子密度低;2)须要以离子撞击电极以产生二次电子,如此将会造成电极材料的损耗;3)所需之电极材料必须为导体。如此一来将不适用于晶圆制程中。

在射频放电(RFDischarge)状况下,由于高频操作,使得大部份的电子在半个周期内没有足够的时间移动至正电极,因此这些电子将会在电极间作振荡,并与气体分子产生碰撞。而射频放电所需的振荡频率下限将视电极间的间距、压力、射频电场振幅的大小及气体分子的解离位能等因素而定,而通常振荡频率下限为50kHz。一般的射频系统所采用的操作频率大都为13.56MHz。



几种不锈钢材料选择和用途

蚀刻加工材料选择:很多易变的因素表示侵蚀介质的特征,即化学制品和其浓度、大气状态、温度、时间,所以假如不了解介质的准确的性质,要使用材料、选择材料是难题。但是,以下可作为选择指南:

304型广泛使用的材料。在建筑中能经受一般的锈蚀,可抵挡食物加工介质浸蚀(但含有浓酸和氯化物成分的高温状态可能泛起侵蚀),能抵挡有机化合物、染料和广泛的各种各样的无机化合物。304L型(低碳),并耐用中等温度和浓度的***,广泛地用作液态气体贮罐,用作低温设备(304N)、用具其它消费产品,厨房设备、病院设备、运输工具、废水处理装置。



金属蚀刻网片小编为您解答不锈钢蚀刻工艺中电解除油原理:

电解除油除了具有化学除油的皂化与乳化作用外,还具有电化学作用。在电解条件下,电极的极化作用降低了油与溶液的界面张力,溶液对钢片表面的润湿性增加,使油膜与金属间的黏附力降低,使油易于剥离并分散到溶液中乳化而除去。在电解除油时,不论是钢片作为阳极还是阴极,其表面上都有大量气体析出。当钢片为阴极时(阴极除油),其表面进行的是还原反应,析出氢气;钢片为阳极时(阳极除油),其表面进行的是氧化反应,析出氧气。电解时钢片与溶液界面所释放的氧气或氢气在溶液中起乳化作用。因为小气泡很容易吸附在油膜表面,随着气泡的增多和长大,这些气泡将油膜撕裂成小油滴并带到液面上,同时对溶液起到搅拌作用,加速了钢片表面油膜的脱除速度。电解除油用于要求高的工件,电解除油成本较高。


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