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作者:兴之扬电子2020/1/30 3:53:29







兴之扬腐蚀不锈钢网片小编给大家介绍什么是湿式蚀刻技术:

早期的蚀刻技术是利用特定的溶液与薄膜间所进行的化学反应来除薄膜未被光阻覆盖的部分,而达到蚀刻的目的,这种蚀刻方式也就是所谓的湿式蚀刻。因为湿式蚀刻是利用化学反应来进行薄膜的去除,而化学反应本身不具方向性,因此湿式蚀刻过程为等向性,一般而言此方式不足以定义3微米以下的线宽,但对于3微米以上的线宽定义湿式蚀刻仍然为一可选择采用的技术。

湿式蚀刻之所以在微电子制作过程中被广泛的采用乃由于其具有低成本、高可靠性、高产能及优越的蚀刻选择比等优点。但相对于干式蚀刻,除了无法定义较细的线宽外,湿式蚀刻仍有以下的缺点:1)需花费较高成本的反应溶液及去离子水;2)化学***处理时人员所遭遇的安全问题;3)光阻附着性问题;4)气泡形成及化学蚀刻液无法完全与晶圆表面接触所造成的不完全及不均匀的蚀刻。



304不锈钢网片蚀刻表面有印迹怎么办?

首先,要知道为什么会出现这种情况,出现这种情况的原因是什么呢?下面兴之扬不锈钢蚀刻***工程师来告诉大家:酸洗溶液氟化物含量不够;酸洗时间太短;蚀刻溶液失调;材料质量原因;

那么,遇见这种情况要怎么解决呢?添加氟化物;延长酸洗时间;分析蚀刻溶液;更换材料

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除油不净的原因有:溶液事先清洗不干净——除油溶液温度低,时间短——除油溶液浓度低,根据问题出现的原因,对应加强溶剂的清洗工作,提升除油溶液温度到规范区间,加强除油时间以及提高除油溶液浓度到工艺范围就可以解决了,关键是在操作前,作业师傅或者技术员对相关浓度与温度以及时间要有准确的判断,设定合适的蚀刻工艺。

工件表面有印迹,主要可能的原因是工件表面残有残碱或者残酸,和材料产生化学反应,有了锈迹,一般是除油和光化处理后清洁不到位引起的,因此要加工强水洗工作,去除残碱残酸;另外材料或者工件在腐蚀场合停留过久也会与空气中的酸碱产生反应,导致印迹的产生,因此工件经过清洗后,要尽快转入防蚀层的制作工序。


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