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工作原理扩散泵中的油在加热到沸腾温度（约为200度）后产生大量的油蒸气，油蒸气经导流管从各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压强高于蒸气流中该气体的分压强，被抽气体的分子便不断扩散到高速定向蒸气流中，随着蒸气流带走。气体分子随蒸气流碰到泵壁又反射回来，再受到蒸气流碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁。经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气进行多级压缩，后由前级泵抽走，而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到下层重新被加热，如此循环工作达到抽气目的。

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工作原理

旋片式真空泵多为中小型真空泵。旋片式真空泵有单级旋片真空泵和双级真空泵两种。所谓双级旋片式真空泵，就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。

旋片式真空泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为1333Pa、1.33Pa 和 1.33×10-1(Pa)下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和 20%。

图二是双级泵工作原理图，它由两个单级泵串联组成。工作时，被抽气体首先经吸气筒进入高真空级。 当吸入气体压强较高时，一部分气体由排气阀2排出，另一部分气体经低真空级，由排气阀1排出。 当吸入气体压强较低时，日本爱发科真空泵供应厂家，虽经高真空级压缩，日本爱发科真空泵供应报价，但排气阀2仍不能打开排气，只能经低真空极继续压缩，由排气阀1排出，因双级泵的极限真空比单级泵高。

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性能参数

通常扩散泵的性能是以极限真空、反压强、抽气速率以及设置冷阱或低温挡板而定。1.极限真空如果对一般油扩散泵的结构进行改进，日本爱发科真空泵供应，如减少油蒸气的返流，加分镏装置，合理分配加热功率，改进喷嘴角度设计，日本爱发科真空泵供应价格，加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使扩散泵性能大大改善，极限真空可达到更低的压强。油扩散泵工作压力范围是10^-1~10^-6Pa，起始压力正好是机械泵的极限压力，因此，油扩散泵通常要利用机械泵作为前级泵，将真空度抽到10^-1Pa后才能开始工作。


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